离子束抛光硅片纳米级微观形貌的原子力显微镜研究

本文报道了用原子力显微镜（ＡＦＭ）研究多种Ａｒ￣＋离子抛光参数Ｓｉ（ｌｌｌ）表面的微观粗糙度和三维微观形貌特征，发现用离子束抛光方法可以显著地改善硅片表面的微观粗糙度，抛光效果与离子束能量、束流强度、抛光时间和束流入射角度等有关。用４００ｅＶ离子能量、１００ｍＡ束流强度、６０°入射角离子束照射２小时后再改用３５０ｅＶ、８０ｍＡ束流强度以同样入射角照射２小时的样品，在１μｍ×１μｍ范围表面微观粗糙度（ＲＭＳ）值可达到０．３ｎｍ左右。而当小入射角（＜２０°）照射时抛光效果很差，其表面明显地呈现出直径约几十到几百ｎｍ凹坑的蜂巢状形貌特征。

照明节电器及其应用

针对照明节电器的日益广泛使用 ,在介绍其工作原理的基础上 ,着重分析了在实际使用中的节电效果和应用的技术条件 ,并给出了综合评价。

脉冲式分子束阀及控制器的研制

叙述了脉冲式分子束阀及脉冲式分子束阀控制器的研制。控制器提供内/外触发选择,触发延时0.05～3.0ms(8档可选),开阀时间0.1～1.5ms(8档可选),开阀脉冲控制0.05～1.0ms(8档可选),关阀及反冲控制0.1～1.0ms(连续可调),并有同步脉冲输出和驱动电流监测。本装置产生的脉冲分子束流可满足同步幅射实验室的需要,控制器还可用于其它气阀的控制。

数字频谱分析方法在高速开关时间抖动测量的应用

开关的时间抖动是开关的重要特性。高速开关特别是开关时间为纳秒量级的高速开关的时间抖动是很小的,其影响通常可忽略。但是对于某些同步定时精度要求特别高的场合,开关的时间抖动往往成为影响系统性能的关键因素。对于高速开关,由于抖动时间往往是非常小的,在时域进行直接测量时对测量仪器的要求很高。本文采用数字频谱分析的方法对高速开关的时间抖动进行了分析,进而提出了一种在频域高精度测量高速开关时间抖动的方法,从而降低了对测量仪器的要求。

同步辐射在分子科学中的若干应用

同步辐射具有波段广、强度高、方向性好、偏振度高和脉冲持续时间短等许多优点，已在许多学科中发挥了重要作用。适合于分子研究的同步辐射的能量范围为６ｅＶ－１ｋｅＶ，现在人们最常用的是６－１００ｅＶ，即真空紫外波段。分子在这种高能量光子作用下，被激发到很高的电子态，或者产生电子、离子及中性碎片。测量这些产物，可能获得有关被研究对象的能态、吸收截面、电离效率、能量转移、电离能、离解能、反应通道等重要信息。