扩散轻掺杂方块电阻的均匀性研究

本文通过研究了选择性发射极电池的工艺原理,不同设备制备的高方阻硅片的片内均匀性,并且在均匀性对电性能的影响。扩散方块电阻的均匀性对太阳电池的电性能至关重要,不仅影响到电池的转换效率,还影响到电池效率的分布,为解决轻掺杂区方块电阻的均匀性这个难点,需要使用低压扩散设备,对扩散时间,气体流量和工艺压力进行调节,然后进行工艺制作,会得到均匀性较好电性能的电池片。