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题名扩散轻掺杂方块电阻的均匀性研究
被引量:1
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作者
杨爱静
李跃恒
陈璐
高艳飞
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机构
国家电投集团西安太阳能电力有限公司电力有限公司
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出处
《电子世界》
2018年第21期94-94,96,共2页
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文摘
本文通过研究了选择性发射极电池的工艺原理,不同设备制备的高方阻硅片的片内均匀性,并且在均匀性对电性能的影响。扩散方块电阻的均匀性对太阳电池的电性能至关重要,不仅影响到电池的转换效率,还影响到电池效率的分布,为解决轻掺杂区方块电阻的均匀性这个难点,需要使用低压扩散设备,对扩散时间,气体流量和工艺压力进行调节,然后进行工艺制作,会得到均匀性较好电性能的电池片。
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关键词
扩散时间
方块电阻
均匀性
掺杂
太阳电池
工艺原理
电性能
转换效率
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分类号
TN873.93
[电子电信—信息与通信工程]
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