用于高真空测量的MEMS谐振式真空计研制及性能研究

为实现高真空测量仪表的小型化,研制了一种双质量块结构的MEMS谐振式真空计。真空计物理部分与专用ASIC电路集成,采用交流电压驱动、电容检测技术,通过监测输出电压变化反演压力值。简要介绍了真空计的测量原理,研究了真空计的交流驱动电压与输出电压、频率之间的关系,探索了合适的交流驱动电压,实现了10^(-4)~10^(-1) Pa区间的压力测量和优于1×10^(-6) Pa的测量分辨率。由于体积小,该真空计在微小真空腔体泄露阈值告警、气体泄漏监测等领域具有广阔的应用前景。