一种应用在半导体行业的评价尾气移除效率的测试方法

在半导体行业,选择使用尾气处理设备对CF4、NF3和NH3等半导体工艺制程气体进行燃烧水洗等环保处理。尾气的分解移除效率(DRE)是评价尾气处理性能的关键指标。首次建立了一种测试和计算DRE的检测方法:使用一台傅里叶变换红外光谱仪(FTIR),采用六氟化硫作为示踪气体,分别测试尾气处理设备的进口总流量、出口总流量、进口的尾气浓度以及出口的尾气浓度,根据公式计算得到尾气的分解移除效率,以实时监控和评价尾气处理设备的性能。这对于尾气处理设备行业的测试的标准化意义重大。

大气等离子喷涂制备FeCoNiCr系高熵合金涂层的研究现状

针对大气等离子喷涂制备FeCoNiCr系高熵合金涂层的研究进展进行了综述,详细总结了合金成分选择、喷涂工艺、涂层组织与性能、后处理工艺等多方面的研究进展;提出了现有喷涂工艺优化不成熟、涂层成分设计不足及组织性能研究欠缺等多个问题,并针对性地提出了研究方向和路线,为后续FeCoNiCr系高熵合金涂层的研究、应用及发展提供参考及指导。

塔式起重机断裂的原因分析

通过宏观及微观分析方法分析塔式起重机的断裂原因,并进行了化学成分和力学性能试验。结果表明:事故塔式起重机的某一立柱与耳座焊接焊缝处的原有缺陷和低温环境引起的低温脆性都显著降低了立柱的抗冲击能力。因此,在塔式起重机受冲击力作用时,立柱发生了脆性断裂,最终导致了事故塔式起重机的整体倒塌。