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在Ge和SiGe复合缓冲层上生长高质量Ge/Si超晶格 被引量:3
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作者 盛篪 周铁城 +4 位作者 龚大卫 樊永良 王建宝 张翔九 王迅 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第1期1-5,共5页
利用Ge的三维生长特性和迅速弛豫,在Si衬底上形成有一定高度的岛状Ge层,继续生长不到200nmSiGe合金就可获得较高质量的缓冲层.这种很薄的缓冲层已用于生长Ge/Si短周期超晶格.超晶格的优良性能表明Ge岛技术是... 利用Ge的三维生长特性和迅速弛豫,在Si衬底上形成有一定高度的岛状Ge层,继续生长不到200nmSiGe合金就可获得较高质量的缓冲层.这种很薄的缓冲层已用于生长Ge/Si短周期超晶格.超晶格的优良性能表明Ge岛技术是生长配晶体的有效方法.薄的外延厚度和低的工艺温度与集成电路工艺是完全相容的. 展开更多
关键词 元素半导体 SIGE合金 超晶格 外延生长
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Ⅱ-Ⅵ族稀磁半导体ZnTe/Zn_(1-x)Mn_xTe超晶格光学性质的研究 被引量:1
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作者 李海涛 陈辰嘉 +6 位作者 王学忠 刘继周 孙允希 凌震 王迅 吕少哲 孔祥贵 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1999年第2期113-119,共7页
在11K-80K温度范围内研究了用MBE生长的ZnTe/Zn1-xMnxTe超晶格样品的光致发光光谱、光调制反射谱和拉曼散射谱.在考虑了样品中晶格失配所致的应力效应后对激子能级进行了理论计算,并讨论了导带偏移Qc和平... 在11K-80K温度范围内研究了用MBE生长的ZnTe/Zn1-xMnxTe超晶格样品的光致发光光谱、光调制反射谱和拉曼散射谱.在考虑了样品中晶格失配所致的应力效应后对激子能级进行了理论计算,并讨论了导带偏移Qc和平均晶格常数的取值对计算结果的影响,还研究了x值对轻、重空穴激子能级位置的影响.在拉曼散射实验结果中不仅观测到高阶声子(6阶)。 展开更多
关键词 光致发光 稀磁半导体 超晶格 光学性质 锌碲
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高组分稀磁半导体Cd_(1 -x)Mn_xTe/CdTe超晶格的光调制反射谱研究 被引量:1
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作者 陈辰嘉 王学忠 +9 位作者 梁晓甘 李海涛 凌震 王迅 V Bellani M Geddo A Stella S Tavazzi A Borghesi A Sassella 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期332-336,共5页
报道用分子束外延 (MEB)技术生长的x =0 4 ,0 8的高组分稀磁半导体Cd1-xMnxTe/CdTe超晶格的光调制反射谱在室温和液氮下的实验结果 .观测到 11H ,2 2H ,33H和 11L等激子跃迁结构 ,计及子能级的量子限定效应和晶格失配导致的应力效应 ... 报道用分子束外延 (MEB)技术生长的x =0 4 ,0 8的高组分稀磁半导体Cd1-xMnxTe/CdTe超晶格的光调制反射谱在室温和液氮下的实验结果 .观测到 11H ,2 2H ,33H和 11L等激子跃迁结构 ,计及子能级的量子限定效应和晶格失配导致的应力效应 ,对子能级结构进行了计算 ,除x =0 8样品的 33H能量计算值与实验值有较大偏差外 ,实验结果与理论符合得很好 .还与光致发光谱实验结果进行了比较 . 展开更多
关键词 光调制反射 激子跃迁 应力效应 超晶格
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Ⅱ-Ⅵ族稀磁半导体Cd_(1-x)Mn_xTe/Cd_(1-y)Mn_yTe超晶格的光调制反射谱的研究
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作者 李海涛 李晓莅 +7 位作者 陈唏 刘继周 陈辰嘉 王学忠 韩一龙 林春 凌震 王迅 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1998年第2期129-134,共6页
本文报道用分子束外延(MBE)技术生长的Cd1-xMnxTe/Cd1-yMnyTe超晶格样品在80K下的光调制反射谱实验结果。观测到11H、22H、33H和11L等激子跃迁结构。计及晶格失配导致的应力效应,对子能级结... 本文报道用分子束外延(MBE)技术生长的Cd1-xMnxTe/Cd1-yMnyTe超晶格样品在80K下的光调制反射谱实验结果。观测到11H、22H、33H和11L等激子跃迁结构。计及晶格失配导致的应力效应,对子能级结构进行了理论计算。实验结果与理论计算符合较好。 展开更多
关键词 稀磁半导体 超晶格 光调制反射谱 MBE DMS
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分子束外延中硅衬底热应力产生缺陷的研究
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作者 盛篪 樊永良 +3 位作者 俞鸣人 张翔九 孙恒慧 段晓峰 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 1992年第11期661-667,共7页
本文报道了由表面形貌观测、X射线双晶衍射、喇曼光谱、透射电镜及深能级解态谱对硅分子束外延中硅衬底在热处理过程中由于热应力、重力等影响导致缺陷产生的研究.由于衬底温度梯度导致样品表面存在位错滑移线,在衬底与外延层界面有着... 本文报道了由表面形貌观测、X射线双晶衍射、喇曼光谱、透射电镜及深能级解态谱对硅分子束外延中硅衬底在热处理过程中由于热应力、重力等影响导致缺陷产生的研究.由于衬底温度梯度导致样品表面存在位错滑移线,在衬底与外延层界面有着高密度的位错网络,在高的温度梯度区有晶粒间界及多晶存在,并伴有扭曲和不平整,在样品中央部份生长状态较好的锗硅合金层超晶格有部份应变会弛豫而转化为失配位错,这严重影响锗硅超晶格的质量.采用新结构的石英样品座改善了样品温度均匀性,并消除外加应力的影响,己可生长出高质量的锗硅超晶格. 展开更多
关键词 分子束外延 衬底 热应力
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用电化学方法在硅中掺铒发光的研究
6
作者 盛篪 龚大卫 +3 位作者 樊永良 刘晓晗 黄大鸣 王迅 《自然科学进展(国家重点实验室通讯)》 1996年第6期746-750,共5页
Ennen等首先报道了在硅中掺铒(Si:Er)实现1.53/μm波长的光致发光(PL)和电致发光(EL),这个波长的硅基发光器件(LED)将是光纤通讯用的单片硅基光电子集成电路的关键,因此Si:Er的研究受到高度重视。要使Si:Er LED发光强度满足实用要求尚... Ennen等首先报道了在硅中掺铒(Si:Er)实现1.53/μm波长的光致发光(PL)和电致发光(EL),这个波长的硅基发光器件(LED)将是光纤通讯用的单片硅基光电子集成电路的关键,因此Si:Er的研究受到高度重视。要使Si:Er LED发光强度满足实用要求尚需解决2个问题。其一是要提高Si中Er的掺杂浓度。Xie等的计算结果指出用常规尺寸制造的LED中的Er的浓度至少要达到10^(19)/cm^3才能满足光强的要求。 展开更多
关键词 饵离子 发光 多孔硅 掺杂 电化学法
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超薄层、亚单原子层固体薄膜的X射线测量结构表征
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作者 蒋最敏 姜晓明 《北京同步辐射装置年报》 1998年第1期138-143,共6页
关键词 超薄层 亚单原子层 固体薄膜 X射线 测量 结构表征
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ZnTe/Zn_(1-x)Mn_xTe超晶格的喇曼散射 被引量:2
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作者 陈唏 李晓莅 +8 位作者 刘继周 王晶晶 周赫田 王学忠 陈辰嘉 凌震 王杰 王迅 孔祥贵 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1997年第2期102-106,共5页
在13~300K温度下研究了稀磁半导体ZnTe/Zn1-xMnxTe超晶格的喇曼散射,观测到多个声子喇曼峰.在近共振条件下,峰的强度增强,线宽显著变窄,并观测到更多不同声子组合的喇曼散射峰.计算和分析了超晶格中应力引... 在13~300K温度下研究了稀磁半导体ZnTe/Zn1-xMnxTe超晶格的喇曼散射,观测到多个声子喇曼峰.在近共振条件下,峰的强度增强,线宽显著变窄,并观测到更多不同声子组合的喇曼散射峰.计算和分析了超晶格中应力引起的声子频移,与实验结果一致. 展开更多
关键词 超晶格 喇曼散射 界面模 半导体 碲化锌
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Ⅱ-Ⅵ族稀磁半导体ZnSe/Zn_(1-x)Mn_xSe超晶格中的应力效应
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作者 李晓莅 陈唏 +5 位作者 刘继周 陈辰嘉 王学忠 凌震 王迅 吕少哲 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1997年第2期1-7,共7页
本文通过Ⅱ-Ⅵ族稀磁半导体超晶格ZnSe/Zn1-xMnxSe的光致发光谱的测量,对其应力效应进行了讨论。样品的组分x=0.2,0.3,0.4,测量温度为T=11~300K。结果表明:由于应力效应,ZnSe/Zn1-... 本文通过Ⅱ-Ⅵ族稀磁半导体超晶格ZnSe/Zn1-xMnxSe的光致发光谱的测量,对其应力效应进行了讨论。样品的组分x=0.2,0.3,0.4,测量温度为T=11~300K。结果表明:由于应力效应,ZnSe/Zn1-xMnxSe超晶格中的激子能量随x值增加而发生红移。在相同组分下,不同阱、垒宽度比使应力的分布产生明显变化,从而影响超晶格中激子能量,实验与理论计算结果相一致。超晶格中光致发光峰随温度的变化主要由其阱中ZnSe能隙的变化所决定。 展开更多
关键词 超晶格 光致发光谱 应力效应 稀磁半导体
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看见原子——扫描隧道显微镜的发明和发展
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作者 董树忠 《科学》 1994年第3期54-56,共3页
'百闻不如一见',说明视觉在认识世界中的重要地位。然而,肉眼的自然能力毕竟有限,通常只能直接分辨线度在0.1毫米以上的物体。于是在科学发展史上,发明了将人眼分辨能力扩展的种种手段,而每一次这样的发明,都对人类科学技术的... '百闻不如一见',说明视觉在认识世界中的重要地位。然而,肉眼的自然能力毕竟有限,通常只能直接分辨线度在0.1毫米以上的物体。于是在科学发展史上,发明了将人眼分辨能力扩展的种种手段,而每一次这样的发明,都对人类科学技术的发展起了巨大的作用。人类很早就利用光线在介质中的折射现象发明了放大镜。世界上第一台光学显微镜是17世纪中期发明的。 展开更多
关键词 扫描显微镜 隧道显微镜 电子显微镜
全文增补中
Si/GaP(111)界面生长及其形成过程
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作者 黄春晖 王迅 《福州大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 1994年第1期26-31,共6页
研究用电子束蒸发方法把Si淀积在GaP表面的界面生长过程。用XPS在线测量Si/GaP(111)界面形成过程中各原子芯能级的移动趋势来研究界面原子间的成键情况;借助Ga3p峰强随Si覆盖厚度的变化确定Si的生长模式。... 研究用电子束蒸发方法把Si淀积在GaP表面的界面生长过程。用XPS在线测量Si/GaP(111)界面形成过程中各原子芯能级的移动趋势来研究界面原子间的成键情况;借助Ga3p峰强随Si覆盖厚度的变化确定Si的生长模式。还用LEED监测Si生长时的表面结构状态。 展开更多
关键词 异质界面 磷化镓 界面生长
原文传递
Ge_xSi_(1-x)合金中的键长及其对电子能带结构的影响
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作者 徐至中 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1994年第7期1111-1117,共7页
采用经验紧束缚理论,以类似闪锌矿结构的晶体模型模拟Ge_xSi_(1-x)合金,根据总能最小原则计算了Ge_xSi_(1-x)合金中的键长及点阵常数.同时以紧束缚方法计算了原子位置发生弛豫前后的电子能带结构,并与虚晶... 采用经验紧束缚理论,以类似闪锌矿结构的晶体模型模拟Ge_xSi_(1-x)合金,根据总能最小原则计算了Ge_xSi_(1-x)合金中的键长及点阵常数.同时以紧束缚方法计算了原子位置发生弛豫前后的电子能带结构,并与虚晶近似下的计算结果进行了比较.计算结果表明,Ge_xSi_(1-x)合金中的键长基本上与合金组分无关,各自接近于Ge,Si晶体中的键长,与广延x射线吸收精细结构(EXAFS)测量结果符合得很好.原子位置的弛豫对合金的电子能带结构影响很小,对合金的电子能带结构起主要作用的是合金的化学组分无序. 展开更多
关键词 半导体合金 键长 能带结构
原文传递
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