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醋酸对电化学沉积氮化碳薄膜的影响 被引量：4
1
作者 田瑀 王建中 +3 位作者 于卫锋 曹荣根 宋云 宁西京 《中国科学（E辑）》 CSCD 北大核心 2009年第8期1414-1418,共5页
采取电化学沉积方法,在尿素的甲醇溶液中制备CNx薄膜,发现在反应原液中加入适量醋酸（CH3COOH）对成膜过程有重要影响.优化实验条件,于单晶硅表面获得了3-7μm的氮化碳多晶颗粒.X射线衍射谱分析表明,晶粒主要为立方相及少量β相和α相.
关键词 氮化碳 电化学沉积 CNX薄膜 反应机理
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