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等离子体质谱法测定硅片硼磷硅玻璃层中硼磷含量
被引量：
2
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作者
黄曜
黄郁芳
+1 位作者
牛国兴
宗祥福
《分析化学》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第7期885-885,共1页
关键词
等离子体质谱法
测定
硅片
硼磷硅玻璃层
硼
磷
半导体材料
分析
下载PDF
职称材料
题名
等离子体质谱法测定硅片硼磷硅玻璃层中硼磷含量
被引量：
2
1
作者
黄曜
黄郁芳
牛国兴
宗祥福
机构
复旦大学
材料
科学系
复旦大学材料化学系
出处
《分析化学》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第7期885-885,共1页
关键词
等离子体质谱法
测定
硅片
硼磷硅玻璃层
硼
磷
半导体材料
分析
分类号
O657.63 [理学—分析化学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
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1
等离子体质谱法测定硅片硼磷硅玻璃层中硼磷含量
黄曜
黄郁芳
牛国兴
宗祥福
《分析化学》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002
2
下载PDF
职称材料
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