低能Cu_6团簇在Cu(001)表面和Au(001)表面沉积的分子动力学模拟研究

采用分子动力学方法和混合的Finnis Sinclain势得到了Cu6团簇的最稳定结构———正八面体结构 .模拟了此结构的Cu6团簇在入射能量 (Ein)范围为 0～ 30eV/原子下与Cu(0 0 1)和Au(0 0 1)表面皮秒 (ps)级时间内的相互作用 .计算结果表明在此能量范围内 ,由于荷能团簇原子与表面的相互作用 ,团簇原子由原来的正八面体Cu6结构演变为fcc结构沉积在衬底表面 .随着Ein的增加 ,团簇原子的穿透深度及与表面原子的交换增加 .到能量增加至一阈值 ,衬底表面观察到空位及间隙子损伤 .与Cu表面相比 ,Cu6在Au表面的损伤阈能略高 .得出团簇原子在表面的再构是在很短的时间 (ps量级 )内发生 ,在该时间范围级联碰撞对团簇再构起主要作用 .本工作支持相关的实验结果 ,低能团簇束沉积 (LECBD)有利于纳米表面的形成 ,进而改变团簇沉积能量 ,可控制表面纳米薄膜的结构 .