载能原子沉积Au/Au(100)外延薄膜生长的计算机模拟

在分子动力学研究的基础上建立了载能原子的沉积动力学物理模型 ,并根据在局域环境下的表面原子扩散模型 ,通过运动学MonteCarlo方法研究了载能粒子沉积Au/Au(10 0 )薄膜的初期生长过程 ,探讨了载能粒子沉积对薄膜生长的影响及其随基体温度的变化 .通过计算机模拟发现 :载能粒子沉积的Au/Au(10 0 )薄膜生长仍然呈现层状生长 三维岛状生长 准二维层状 .在薄膜生长初期 ,载能粒子的作用是促进表面原子的成核 ,增加基体表面的缺陷 ;在薄膜的生长阶段 ,载能粒子通过抑制三维岛的生长速率起着平滑薄膜表面形貌的作用 .载能粒子是通过改变薄膜局域表面形貌而影响着薄膜的生长行为 。

Au/Au(100)外延薄膜生长的计算机模拟及其微观机制研究

在分子动力学研究的基础上建立了气相沉积原子的沉积动力学物理模型,并根据在局域环境下的表面原子扩散模型,通过运动学MonteCarlo方法研究了Au/Au(100)外延薄膜的初期生长过程,探讨了薄膜外延生长随基体温度的变化.通过气相外延沉积的计算机模拟发现:单原子扩散过程在薄膜生长中起着极为关键的作用.当薄膜生长温度低于单原子的扩散温度时,表面原子的成核和表面岛的生长主要是由沉积原子的空间随机性和表面原子密度增加而决定的;随着薄膜生长温度的提高。