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串列加速器微机控制自动能量扫描系统的研制及初步调试
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作者 张琳 李嘉庆 卢成荣 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 1999年第1期28-31,共4页
利用微机和单片机构成分布式控制系统参与对加速器的控制，实现了加速器在一定范围内等间隔能量点的自动调节、动态显示和稳定机器工作状态、采集并保存实验数据作为日后实验运行参数的查询和调用。
关键词 自动 能量扫描系统 分布式控制 加速器 串行
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用低能离子溅射剥层和高能离子背散射组合方法进行薄膜原位分析 被引量：2
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作者 刘波 姜蕾 +3 位作者 周筑颖 贺勉鸿 赵国庆 宗祥福 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2000年第1期164-169,共6页
介绍了将离子枪组合于卢瑟福背散射分析靶室中构成Ｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ／ＲＢＳ原位分析实验装置，用低能离子溅射剥层与高能离子背散射组合对薄膜样品进行成分和深埋层分析方法．给出了对样品分析的三个例子．对Ａｕ／Ｓｉ 样品的分... 介绍了将离子枪组合于卢瑟福背散射分析靶室中构成Ｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ／ＲＢＳ原位分析实验装置，用低能离子溅射剥层与高能离子背散射组合对薄膜样品进行成分和深埋层分析方法．给出了对样品分析的三个例子．对Ａｕ／Ｓｉ 样品的分析着重讨论了Ａｕ 在Ａｒ＋ 溅射剥层时的溅射速率；对Ｓｉ／ＧｅＳｉ／Ｓｉ 和ＷＳｉｘ／ＳｉＯ２／Ｓｉ 样品的深埋层分析，提高了样品分析的深度分辨率． 展开更多
关键词 薄膜原位分析 低能离子溅射剥层 高能离子背散射
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