期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式:
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
微机械梁膜结构1kPa量程压力传感器
被引量:
1
1
作者
鲍敏杭
沈绍群
普琦
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1994年第2期7-9,共3页
采用微机械加工技术可以制作出管芯尺寸小而灵敏度很高的压力传感器。目前微压压力传感器产品的量程已达5~10kPa。本文介绍了采用微机械梁膜结构的压力传感器设计(PT—24),结合适当的工艺可以制成量程为1kPa的器件。
关键词
梁膜结构
微压
压力传感器
下载PDF
职称材料
题名
微机械梁膜结构1kPa量程压力传感器
被引量:
1
1
作者
鲍敏杭
沈绍群
普琦
机构
复旦大学电子工程系传感器室
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1994年第2期7-9,共3页
文摘
采用微机械加工技术可以制作出管芯尺寸小而灵敏度很高的压力传感器。目前微压压力传感器产品的量程已达5~10kPa。本文介绍了采用微机械梁膜结构的压力传感器设计(PT—24),结合适当的工艺可以制成量程为1kPa的器件。
关键词
梁膜结构
微压
压力传感器
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微机械梁膜结构1kPa量程压力传感器
鲍敏杭
沈绍群
普琦
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1994
1
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部