面向硅片清洗技术的高浓度臭氧产生装置

近来特大规模集成电路研发与生产的快速进展,硅片表面清洗至关重要。因此大连海事大学环境工程研究所采用强电离放电方法(折合电场强度达到380 Td,电子具有平均能量达到9 eV)研发成功国内首台具有知识产权dhO3g型系列高浓度臭氧产生器,其臭氧浓度达到240 mg/L。该装置具有自动化水平高,能耗低、体积小、高性价比等特点,并阐述了该装置的技术先进性及其技术指标。

氧活性粒子脱除烟气中SO_2的实验研究

为了解决目前气体电离放电脱硫方法存在的等离子源体积庞大、能耗高、以及需要依靠传统脱硫方法的协同作用等问题.拟用小流量高浓度氧活性粒子[O2^＋、O（1D）、O（3P）、O3]及引发剂HO2^-分别注入烟道中,与烟气中H2O反应生成.OH;在无吸收剂、无催化剂及没有其他技术协同作用下,进行.OH氧化脱除大烟气量中的微量SO2并生成H2SO4的实验.结果表明：烟气温度为30℃,氧活性粒子与SO2摩尔比为3~4时,脱硫率达到94.6%,回收酸液中SO4^2-浓度达到9.3g/L.

氧活性粒子注入烟道中脱除SO_2的研究

为解决目前石灰石-石膏湿法烟气脱硫(FGD)存在的投资和运行费用高、占地面积大、产生大量污水及低质硫酸钙等问题,将小流量高浓度氧活性粒子和HO2-引发剂分别注入烟道中,与烟气中水反应生成.OH,并在无吸收剂、催化剂及其他技术协同作用下,利用.OH氧化脱除大流量烟气量中的微量SO2并生成H2SO4.结果表明:氧活性粒子与SO2的物质的量比n=4时,SO2脱除率达到94.6%,回收酸液中SO24-回收率达到28.8%;烟气温度每升高10 K,脱硫率降低5%左右;O2体积分数成倍变化对脱硫率影响甚微;当H2O体积分数大于9%时基本满足了脱硫要求.

Dho_3l型高浓度臭氧水溶液产生设备

随着超大规模集成电路的发展,高浓度臭氧水溶液产生设备成为硅片清洗的关键设备。因此大连海事大学环境工程研究所研制成功国内首台dho3l系列高浓度臭氧水溶液设备,它的臭氧水浓度达到20～30 mg/L。该设备采用强电场电离放电方法,将O2和H2O电离成高浓度氧活性粒子O2+、O3、O(1D)、O(3P)和引发剂HO2–,在引发剂HO2–作用下,O3与H2O生成高浓度臭氧水溶液。它具有臭氧水浓度高、自动化程度高、能耗低、体积小、高性价比等特点,并着重阐述了该设备的技术先进性及性能指标。

高级氧化技术研究现状及其发展趋势

中国面临环境保护的重大压力,高级氧化技术(AOT)是解决环境污染的理想绿色技术,而高级氧化技术是指·OH制备以及诱发一系列的攻击污染物及微生物反应,从源头上解决了治理污染过程中再污染的问题。高级氧化技术规模制备·OH是其标志性核心关键问题。基于此,学术界进行了一系列羟基自由基制备研究工作。本文介绍了在水中制备·OH的方法,主要介绍O3/H2O2、O3/UV、H2O2/UV、Fenton、光催化氧化、电子辐射和水激励等方法;也介绍了在气体中制备·OH的方法,主要有脉冲电晕放电法、电子束和强电离放电法等。强电离放电法有望同时解决在水、气中规模制备·OH过程中存在的问题。

在烟道中脱除NOx并生成HNO3的方法

为了解决目前气体电离放电脱硝方法存在的等离子源体积庞大、能耗高、NOx脱除率低以及需要依靠传统脱硝方法的协同作用等问题,拟用小流量、高浓度的氧活性粒子[O2+,O(1D),O(3P),O3]、引发剂HO2-分别注入烟道中,与烟气中水反应生成.OH,在无吸收剂、催化剂、氧化剂及其他技术协同作用下,实现了烟道中.OH快速氧化脱除大烟气量中的微量NOx并生成HNO3溶液的整个反应过程,等离子体反应管道长度为1～8m.实验结果表明,氧活性粒子与NOx摩尔比值决定了脱除率,摩尔比选择在2～3为宜,此时NOx脱除率将达到95%左右,回收酸液中NO3-回收率达到58.1%;NOx脱除率随着实验气体温度增高而下降;O2含量增加对脱硝效果有20%左右的影响;H2O含量大于4%时脱硝率处于最高值.可见本方法不但解决气体电离放电脱硝存在的问题,同时又为大气污染治理提供一种绿色新方法.