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题名Lagmuir探针电源的研究
被引量:4
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作者
谭永胜
王景峰
刘支华
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机构
大连松辽电子工业股份有限公司
长春理工大学科技开发中心
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出处
《长春理工大学学报(自然科学版)》
2003年第1期63-65,共3页
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文摘
基于langmuir探针诊断原理,研究了探针供电电源及探针电流、电压检测电路。电源对射频干扰有很好的抑制能力,电压、电流的检测精度均小于0.5%。
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关键词
Lagmuir探针电源
积分转换
等离子体
微细加工
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Keywords
Plasma
Langmuir probe
Power supply
Simple-slope integration
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分类号
TG664
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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题名模糊预补偿PID控制
被引量:1
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作者
宋筱玲
阎岩
潘学军
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机构
大连理工大学信息与控制中心
大连松辽电子股份有限公司
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出处
《控制工程》
CSCD
2003年第5期399-400,409,共3页
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文摘
利用模糊控制理论的非线性特性,在工业过程控制中将其与PID控制结合,能改善常规PID控制器的控制性能。给出了一种基于模糊逻辑规则作为预补偿机制的PID控制,采用模糊推理和改进Z-N方法结合的方法,通过使用模糊逻辑规则作为预补偿器调整控制信号,校正PID控制器产生的较大超调,以达到改善PID控制器控制性能的目的。经仿真证明,该方法可克服传统Z-N方法产生的过大超调和较长调整时间的不足,同时又保持较好的抗负荷扰动能力和鲁棒性。
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关键词
工业过程控制
模糊控制理论
非线性特性
模糊预补偿PID控制
数学模型
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Keywords
fuzzy logic
precompensation
PID controller
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分类号
TP273
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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