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Lagmuir探针电源的研究 被引量:4
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作者 谭永胜 王景峰 刘支华 《长春理工大学学报(自然科学版)》 2003年第1期63-65,共3页
基于langmuir探针诊断原理,研究了探针供电电源及探针电流、电压检测电路。电源对射频干扰有很好的抑制能力,电压、电流的检测精度均小于0.5%。
关键词 Lagmuir探针电源 积分转换 等离子体 微细加工
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模糊预补偿PID控制 被引量:1
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作者 宋筱玲 阎岩 潘学军 《控制工程》 CSCD 2003年第5期399-400,409,共3页
利用模糊控制理论的非线性特性,在工业过程控制中将其与PID控制结合,能改善常规PID控制器的控制性能。给出了一种基于模糊逻辑规则作为预补偿机制的PID控制,采用模糊推理和改进Z-N方法结合的方法,通过使用模糊逻辑规则作为预补偿器调整... 利用模糊控制理论的非线性特性,在工业过程控制中将其与PID控制结合,能改善常规PID控制器的控制性能。给出了一种基于模糊逻辑规则作为预补偿机制的PID控制,采用模糊推理和改进Z-N方法结合的方法,通过使用模糊逻辑规则作为预补偿器调整控制信号,校正PID控制器产生的较大超调,以达到改善PID控制器控制性能的目的。经仿真证明,该方法可克服传统Z-N方法产生的过大超调和较长调整时间的不足,同时又保持较好的抗负荷扰动能力和鲁棒性。 展开更多
关键词 工业过程控制 模糊控制理论 非线性特性 模糊预补偿PID控制 数学模型
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