燃料电池不锈钢双极板CrN/CrC薄膜表面改性研究

采用离子镀技术在质子交换膜燃料电池不锈钢双极板表面制备了CrN/CrC多层薄膜。测试结果表明,与未镀膜的不锈钢基体相比,镀膜不锈钢的接触电阻（120N/cm2压紧力）降低2个数量级,并且耐蚀性能显著改善,腐蚀电流密度降低0.5~1个数量级。同时,镀膜不锈钢的耐久性亦大幅提升,改性薄膜可以有效保护不锈钢基体免受腐蚀损害。

燃料电池不锈钢双极板CrC薄膜表面改性研究

采用离子镀技术在质子交换膜燃料电池(PEMFC)用不锈钢双极板表面沉积了不同厚度的Cr C薄膜。测试结果显示,随着薄膜厚度增加:镀膜样品表面粗糙度降低使其接触电阻降低。同时,镀膜样品的耐蚀性能和耐久性提高,在模拟腐蚀环境中的腐蚀电流密度分别降低了1个数量级(阴极)和0.5个数量级(阳极);镀膜样品在腐蚀测试过程中溶解生成的铁离子数量减少,厚度较大的薄膜可以更有效地保护不锈钢基体免受腐蚀。

脉冲调制射频容性耦合SiH_4/C_2H_4/Ar放电的发射光谱诊断

本文采用发射光谱法诊断了低气压下氩气(Ar)、硅烷(SiH4)及乙烯(C2H4)混合气体(SiH4/C2H4/Ar)脉冲调制射频放电等离子体特性,利用了Ar发射光谱中的五条谱线通过Boltzmann斜率法计算了电子激发温度,研究了占空比、调制频率、功率及气压等对电子激发温度和谱线相对强度的影响。

脉冲调制磁化容性耦合放电中Ar^+光谱特性研究

本文在平行平板脉冲调制容性耦合射频放电装置中,采用光学发射谱线诊断的方法,研究了低气压(30 Pa^65 Pa)不同磁场强度条件下氩气(Ar)放电时产生等离子体过程中电子激发温度以及Ar离子的光谱线相对强度随气压、射频功率、调制频率、占空比和磁场强度大小的变化规律。

射频等离子体中尘埃空洞演化研究

本文利用实验过程中直接产生尘埃粒子的方法,实验气体是乙烯和硅烷,氩气是载气。在射频等离子体鞘层内形成尘埃云及尘埃空洞。通过观察尘埃云体积的变化及尘埃空洞随时间的周期振荡现象,分析尘埃空洞的基本性质,通过记录尘埃颗粒随时间的运动轨迹,初步推断出尘埃颗粒的受力情况,结合尘埃颗粒和尘埃空洞的运动规律,得出射频等离子体中尘埃空洞的特性及形成原因。