FeCo-SiO_2纳米颗粒膜的高频软磁特性

采用磁控共溅射法制备了系列(Fe_(65)Co_(35))_(x)(SiO_2)_(1-x)纳米磁性颗粒膜,并研究了其微结构和微波特性。结果表明,样品在x=0.5～0.7的宽成分范围内表现出良好的软磁特性,H_c最大不超过4Oe,电阻率高达10~3μΩ·cm。样品同时具有良好的高频磁特性,磁谱的共振频率高达2.4GHz,可用于抗电磁干扰和微波吸收材料。HRTEM分析表明,Fe_(65)Co_(35)纳米颗粒均匀地镶嵌在绝缘的SiO_2介质中。由于Fe_(65)Co_(35)合金具有较长的交换长度,因此有利于加强磁性颗粒之间的交换耦合作用,使样品获得优良的软磁特性。更高体积分数的样品中颗粒之间的相互作用减弱,可能是因为未被平均掉的磁晶各向异性。