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离轴非球面镜子母同体超精密车削加工法
被引量:
2
1
作者
张效栋
房丰洲
+1 位作者
魏桂爽
程颖
《机械科学与技术》
CSCD
北大核心
2010年第11期1438-1442,共5页
离轴非球面镜是高精度测量和制造装备不可或缺的光学器件。目前其制造技术的难点在于同时实现高效和高形状精度的加工。笔者借助"子母同体"结构设计和超精密车削技术实现高精度离轴非球面镜加工。利用该结构设计,借助非球面...
离轴非球面镜是高精度测量和制造装备不可或缺的光学器件。目前其制造技术的难点在于同时实现高效和高形状精度的加工。笔者借助"子母同体"结构设计和超精密车削技术实现高精度离轴非球面镜加工。利用该结构设计,借助非球面车削加工可实现多个离轴非球面的加工,并从加工路径优化设计和补偿加工技术的研究方面,论述了提高面形精度的方法。实验结果表明:离轴非球面镜的面形精度P-V可在200nm之内,粗糙度Ra约为6nm。
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关键词
离轴非球面
超精密加工
车削
补偿加工
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职称材料
题名
离轴非球面镜子母同体超精密车削加工法
被引量:
2
1
作者
张效栋
房丰洲
魏桂爽
程颖
机构
天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室、天津微纳制造工程技术中心
出处
《机械科学与技术》
CSCD
北大核心
2010年第11期1438-1442,共5页
基金
国家863计划重点项目(2009AA044305)
国家博士后科学基金项目(20080440683)
国家自然基金重大研究计划项目(90923024)资助
文摘
离轴非球面镜是高精度测量和制造装备不可或缺的光学器件。目前其制造技术的难点在于同时实现高效和高形状精度的加工。笔者借助"子母同体"结构设计和超精密车削技术实现高精度离轴非球面镜加工。利用该结构设计,借助非球面车削加工可实现多个离轴非球面的加工,并从加工路径优化设计和补偿加工技术的研究方面,论述了提高面形精度的方法。实验结果表明:离轴非球面镜的面形精度P-V可在200nm之内,粗糙度Ra约为6nm。
关键词
离轴非球面
超精密加工
车削
补偿加工
Keywords
off-axis aspheric
ultra-precision machining
turning
compensation machining
分类号
TH741.4 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
离轴非球面镜子母同体超精密车削加工法
张效栋
房丰洲
魏桂爽
程颖
《机械科学与技术》
CSCD
北大核心
2010
2
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