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基于基因荧光检测的长波通滤光片研制
1
作者
林亦心
董新康
+4 位作者
杨宁
辛亚武
祝晗
彭永超
熊仕富
《光电技术应用》
2024年第3期36-41,共6页
光学滤光片是滤去杂质光干扰的重要光学器件,不同波段的滤光片在基因检测得到广泛应用。基于膜系设计理论与薄膜制备工艺,利用电子束蒸发离子辅助沉积技术,以Ta_(2)O_(5)和SiO_(2)为镀膜材料,在JGS1基底玻璃上设计并制备了一种截止中心...
光学滤光片是滤去杂质光干扰的重要光学器件,不同波段的滤光片在基因检测得到广泛应用。基于膜系设计理论与薄膜制备工艺,利用电子束蒸发离子辅助沉积技术,以Ta_(2)O_(5)和SiO_(2)为镀膜材料,在JGS1基底玻璃上设计并制备了一种截止中心λ_(0)=520 nm的高反射,透射带λ为530~750 nm的高透射长波通滤光片。通过分析膜层敏感度和电场分布,设置合理的晶控方案,调整工艺参数,避免监控高敏感膜层时石英晶控灵敏度下降,解决光谱透过率降低的问题。研制的滤光片在520 nm处反射率为99.77%,在530~750 nm波段平均透过率为98.58%,可满足应用需求。
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关键词
光学薄膜
长波通滤光片
膜堆周期
离子辅助沉积
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职称材料
题名
基于基因荧光检测的长波通滤光片研制
1
作者
林亦心
董新康
杨宁
辛亚武
祝晗
彭永超
熊仕富
机构
天津理工大学功能晶体研究院天津市功能晶体材料重点实验室
出处
《光电技术应用》
2024年第3期36-41,共6页
文摘
光学滤光片是滤去杂质光干扰的重要光学器件,不同波段的滤光片在基因检测得到广泛应用。基于膜系设计理论与薄膜制备工艺,利用电子束蒸发离子辅助沉积技术,以Ta_(2)O_(5)和SiO_(2)为镀膜材料,在JGS1基底玻璃上设计并制备了一种截止中心λ_(0)=520 nm的高反射,透射带λ为530~750 nm的高透射长波通滤光片。通过分析膜层敏感度和电场分布,设置合理的晶控方案,调整工艺参数,避免监控高敏感膜层时石英晶控灵敏度下降,解决光谱透过率降低的问题。研制的滤光片在520 nm处反射率为99.77%,在530~750 nm波段平均透过率为98.58%,可满足应用需求。
关键词
光学薄膜
长波通滤光片
膜堆周期
离子辅助沉积
Keywords
optical thin film
long-wavelength pass filter
film stack cycles
ion-beam assisted deposition
分类号
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
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被引量
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1
基于基因荧光检测的长波通滤光片研制
林亦心
董新康
杨宁
辛亚武
祝晗
彭永超
熊仕富
《光电技术应用》
2024
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