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基于MEMS超级电容器的高介电常数CaCu_3Ti_4O_(12)薄膜制备及电学特性
被引量:
1
1
作者
李刚
高雅
+4 位作者
赵清华
段倩倩
史健芳
王开鹰
孙伟
《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第7期2252-2256,共5页
相对于电化学超级电容器,静电式电容器具有更高的功率密度和可靠性,但能量密度过低。本研究提出制备基于高介电常数薄膜CaCu_3Ti_4O_(12)(CCTO)的高能量密度MEMS静电式超级电容器。首先,以硅片为基底,通过溶胶-凝胶法在不同烧结温度700...
相对于电化学超级电容器,静电式电容器具有更高的功率密度和可靠性,但能量密度过低。本研究提出制备基于高介电常数薄膜CaCu_3Ti_4O_(12)(CCTO)的高能量密度MEMS静电式超级电容器。首先,以硅片为基底,通过溶胶-凝胶法在不同烧结温度700、800、900℃下制备CCTO薄膜,分别采用场发射扫描电镜(FE-SEM)和X射线衍射仪(XRD)对薄膜的形貌、组分和结晶状况进行表征,发现在800℃烧结温度下CCTO薄膜结晶状况最佳。然后,利用金属-绝缘层-半导体结构测试其电流-电压(I-V)和电容-电压(C-V)特性,计算得到薄膜的最大阈值电压和能量密度分别为47 V和3.2 J/cm^3。同时,首次对高介电常数介质膜中存在的介质充电现象进行了研究,并分析了介质充电对静电式超级电容器性能的影响。
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关键词
高介电常数薄膜
MEMS
静电式超级电容器
介质充电
原文传递
题名
基于MEMS超级电容器的高介电常数CaCu_3Ti_4O_(12)薄膜制备及电学特性
被引量:
1
1
作者
李刚
高雅
赵清华
段倩倩
史健芳
王开鹰
孙伟
机构
太原理工
大学
新型
传感器
和智能
控制
教育部
(
山西
)
重点
实验室
微
纳
系统
研究
中心
烯晶碳能电子科技无锡有限公司
出处
《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第7期2252-2256,共5页
基金
国家自然科学基金(51505324
61674113)
+5 种基金
山西省基础研究计划项目(2014011019-1
20141001021-2
2016011040)
人社部留学人员择优资助([2014]240)
山西省归国留学基金(2013-036)
山西省人社厅留学人员择优资助([2013]251)
文摘
相对于电化学超级电容器,静电式电容器具有更高的功率密度和可靠性,但能量密度过低。本研究提出制备基于高介电常数薄膜CaCu_3Ti_4O_(12)(CCTO)的高能量密度MEMS静电式超级电容器。首先,以硅片为基底,通过溶胶-凝胶法在不同烧结温度700、800、900℃下制备CCTO薄膜,分别采用场发射扫描电镜(FE-SEM)和X射线衍射仪(XRD)对薄膜的形貌、组分和结晶状况进行表征,发现在800℃烧结温度下CCTO薄膜结晶状况最佳。然后,利用金属-绝缘层-半导体结构测试其电流-电压(I-V)和电容-电压(C-V)特性,计算得到薄膜的最大阈值电压和能量密度分别为47 V和3.2 J/cm^3。同时,首次对高介电常数介质膜中存在的介质充电现象进行了研究,并分析了介质充电对静电式超级电容器性能的影响。
关键词
高介电常数薄膜
MEMS
静电式超级电容器
介质充电
Keywords
high dielectric constant thin film
MEMS
electrostatic supercapacitors
dielectric charging
分类号
TB43 [一般工业技术]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于MEMS超级电容器的高介电常数CaCu_3Ti_4O_(12)薄膜制备及电学特性
李刚
高雅
赵清华
段倩倩
史健芳
王开鹰
孙伟
《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018
1
原文传递
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