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激光等离子体效应对硅表面损伤特征的影响
被引量:
1
1
作者
范卫星
韩敬华
+6 位作者
李海波
杨李茗
冯国英
高翔
刘岩岩
包凌东
黄永忠
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第12期3185-3189,共5页
硅材料作为光电探测器的基础材料,研究其在强激光辐照下的损伤问题在激光探测、国防领域很有意义。对高强度纳秒激光作用下硅表面的损伤形貌特征进行了研究,结果表明:激光等离子体的热效应及冲击波效应,使激光作用区域内的物质迅速向外...
硅材料作为光电探测器的基础材料,研究其在强激光辐照下的损伤问题在激光探测、国防领域很有意义。对高强度纳秒激光作用下硅表面的损伤形貌特征进行了研究,结果表明:激光等离子体的热效应及冲击波效应,使激光作用区域内的物质迅速向外飞溅,形成点坑,并在点坑周围形成辐射状冷却物;散射光与入射激光干涉产生形成周期性分布的热应力使得硅材料表面张力发生变化,冷却后会在坑底表面产生周期性结构;从激光等离子体的光谱中可以发现N,O和Si的特征光谱,在重复激光脉冲作用下会在硅表面上覆盖一层导致色变的SiOx和SiNx复合薄膜,是激光等离子体的喷射产物。
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关键词
激光等离子体
多晶硅
激光诱导损伤
周期性结构
下载PDF
职称材料
KTP晶体的激光烧蚀特性及Raman光谱研究
2
作者
韩敬华
段涛
+6 位作者
范卫星
冯国英
杨李茗
牛瑞华
杨洁
翟玲玲
郭超
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第7期1820-1824,共5页
高阈值的KTP晶体的研发,对高能激光领域至关重要。采用高重复频率的紫外激光对KTP进行烧蚀,并对烧蚀前后的Raman光谱进行分析,研究发现:激光等离子体效应是造成晶体破坏的主要原因,其逆韧致吸收效应会大大增加激光脉冲能量的沉积,电离...
高阈值的KTP晶体的研发,对高能激光领域至关重要。采用高重复频率的紫外激光对KTP进行烧蚀,并对烧蚀前后的Raman光谱进行分析,研究发现:激光等离子体效应是造成晶体破坏的主要原因,其逆韧致吸收效应会大大增加激光脉冲能量的沉积,电离效应使得晶体发生充分的离解,高压冲击波效应则把熔化、气化以及电离混合物外排的同时,使得材料发生断裂。烧蚀前后的Raman光谱的特征峰分布基本相同,说明烧蚀作用没有改变KTP材料的整体结构。但是,特征峰的对比值(RIR)都发生了改变,且有所展宽,说明烧蚀后结晶度降低。其中TiO6和PO4等主要氧多面体的特征峰向低波数漂移,说明材料的键合力消弱,更易发生离解。
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关键词
KTP晶体
激光烧蚀
激光等离子体
RAMAN光谱
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职称材料
大口径1064nm窄带滤光片的研制
被引量:
3
3
作者
范卫星
赵战刚
+2 位作者
王平秋
周九林
马孜
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第3期320-322,326,共4页
采用现代光通信DWDM镀膜技术,选用Ta2O5/S iO2氧化物硬质薄膜材料,研制成功大口径、高性能1064nm窄带滤光片。给出了从膜系设计到试生产及膜层的性能方面的一些实验结果,表明产品的各项性能指标达到或超过了客户的要求,现已定型批量生产。
关键词
薄膜
1064m滤光片
峰值透过率
超窄带
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职称材料
光通信滤光片外观特性及缺陷的视觉检测
被引量:
3
4
作者
卫红
曹一鸣
+2 位作者
王小辉
范卫星
董兴华
《中国测试》
CAS
北大核心
2014年第4期30-32,50,共4页
针对目前光通信滤光片外观检测及筛选仍依赖人工的情况,提出利用机器视觉与软件分析方法,通过光通信滤光片与系统内标准滤光片模板外观特性进行比对,实现光通信光学薄膜元器件外观缺陷的高效、准确检测,并在检测线上根据设定类别进行自...
针对目前光通信滤光片外观检测及筛选仍依赖人工的情况,提出利用机器视觉与软件分析方法,通过光通信滤光片与系统内标准滤光片模板外观特性进行比对,实现光通信光学薄膜元器件外观缺陷的高效、准确检测,并在检测线上根据设定类别进行自动分类及产品自动装盒,实现自动检测分类,提高生产效率。
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关键词
精密工程
光学薄膜
外观特性
视觉检测
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职称材料
光学薄膜元器件外观特性机器视觉检测系统
被引量:
2
5
作者
王小辉
范卫星
+2 位作者
曹一鸣
董兴华
卫红
《自动化与信息工程》
2011年第6期32-33,37,共3页
本系统利用工业级摄像头及开发包的机器视觉功能与计算软件编程控制技术相结合,通过与输入控制系统中的标准膜片模板外观品质进行对比,实现高速高效、准确识别检测光学薄膜器件中滤光片的外观缺陷。可在生产线上根据外观品质标准模板中...
本系统利用工业级摄像头及开发包的机器视觉功能与计算软件编程控制技术相结合,通过与输入控制系统中的标准膜片模板外观品质进行对比,实现高速高效、准确识别检测光学薄膜器件中滤光片的外观缺陷。可在生产线上根据外观品质标准模板中设定的类别进行自动分类装盒。
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关键词
光学薄膜
外观特性
视觉检测
下载PDF
职称材料
题名
激光等离子体效应对硅表面损伤特征的影响
被引量:
1
1
作者
范卫星
韩敬华
李海波
杨李茗
冯国英
高翔
刘岩岩
包凌东
黄永忠
机构
四川大学电子信息学院
奥普
镀膜
技术
(
广州
)
有限公司
成都精密光学工程研究中心
出处
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第12期3185-3189,共5页
基金
国家自然科学基金重大项目(60890203)
国家自然学基金委员会-中国工程物理研究院联合基金项目(10676023)
四川大学青年教师科研启动基金项目(2009SCU11008)资助
文摘
硅材料作为光电探测器的基础材料,研究其在强激光辐照下的损伤问题在激光探测、国防领域很有意义。对高强度纳秒激光作用下硅表面的损伤形貌特征进行了研究,结果表明:激光等离子体的热效应及冲击波效应,使激光作用区域内的物质迅速向外飞溅,形成点坑,并在点坑周围形成辐射状冷却物;散射光与入射激光干涉产生形成周期性分布的热应力使得硅材料表面张力发生变化,冷却后会在坑底表面产生周期性结构;从激光等离子体的光谱中可以发现N,O和Si的特征光谱,在重复激光脉冲作用下会在硅表面上覆盖一层导致色变的SiOx和SiNx复合薄膜,是激光等离子体的喷射产物。
关键词
激光等离子体
多晶硅
激光诱导损伤
周期性结构
Keywords
Laser plasma
Multicrystal silicon
Laser-induced damage
Periodic structures
分类号
O539 [理学—等离子体物理]
下载PDF
职称材料
题名
KTP晶体的激光烧蚀特性及Raman光谱研究
2
作者
韩敬华
段涛
范卫星
冯国英
杨李茗
牛瑞华
杨洁
翟玲玲
郭超
机构
四川大学电子信息学院
西南科技大学极端条件物质特性实验室
奥普
镀膜
技术
(
广州
)
有限公司
成都精密光学工程研究中心
出处
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第7期1820-1824,共5页
基金
国家自然科学基金重大项目(60890203)
西南科技大学极端条件物质特性实验室开放基金项目(11zxjk08)资助
文摘
高阈值的KTP晶体的研发,对高能激光领域至关重要。采用高重复频率的紫外激光对KTP进行烧蚀,并对烧蚀前后的Raman光谱进行分析,研究发现:激光等离子体效应是造成晶体破坏的主要原因,其逆韧致吸收效应会大大增加激光脉冲能量的沉积,电离效应使得晶体发生充分的离解,高压冲击波效应则把熔化、气化以及电离混合物外排的同时,使得材料发生断裂。烧蚀前后的Raman光谱的特征峰分布基本相同,说明烧蚀作用没有改变KTP材料的整体结构。但是,特征峰的对比值(RIR)都发生了改变,且有所展宽,说明烧蚀后结晶度降低。其中TiO6和PO4等主要氧多面体的特征峰向低波数漂移,说明材料的键合力消弱,更易发生离解。
关键词
KTP晶体
激光烧蚀
激光等离子体
RAMAN光谱
Keywords
KTP crystal
Laser ablation
Laser plasma
Raman spectroscopy
分类号
TN244 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
大口径1064nm窄带滤光片的研制
被引量:
3
3
作者
范卫星
赵战刚
王平秋
周九林
马孜
机构
奥普
镀膜
技术
(
广州
)
有限公司
西南
技术
物理研究所
出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第3期320-322,326,共4页
文摘
采用现代光通信DWDM镀膜技术,选用Ta2O5/S iO2氧化物硬质薄膜材料,研制成功大口径、高性能1064nm窄带滤光片。给出了从膜系设计到试生产及膜层的性能方面的一些实验结果,表明产品的各项性能指标达到或超过了客户的要求,现已定型批量生产。
关键词
薄膜
1064m滤光片
峰值透过率
超窄带
Keywords
thin film
1064nm filter
peak transmittance
ultranarrow-band
分类号
O484.41 [理学—固体物理]
下载PDF
职称材料
题名
光通信滤光片外观特性及缺陷的视觉检测
被引量:
3
4
作者
卫红
曹一鸣
王小辉
范卫星
董兴华
机构
广州
市光机电
技术
研究院
奥普
镀膜
技术
(
广州
)
有限公司
出处
《中国测试》
CAS
北大核心
2014年第4期30-32,50,共4页
文摘
针对目前光通信滤光片外观检测及筛选仍依赖人工的情况,提出利用机器视觉与软件分析方法,通过光通信滤光片与系统内标准滤光片模板外观特性进行比对,实现光通信光学薄膜元器件外观缺陷的高效、准确检测,并在检测线上根据设定类别进行自动分类及产品自动装盒,实现自动检测分类,提高生产效率。
关键词
精密工程
光学薄膜
外观特性
视觉检测
Keywords
precision engineering
optical coating
outer inspection
visual test
分类号
TP391.41 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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职称材料
题名
光学薄膜元器件外观特性机器视觉检测系统
被引量:
2
5
作者
王小辉
范卫星
曹一鸣
董兴华
卫红
机构
广州
市光机电
技术
研究院
奥普
镀膜
技术
(
广州
)
有限公司
出处
《自动化与信息工程》
2011年第6期32-33,37,共3页
文摘
本系统利用工业级摄像头及开发包的机器视觉功能与计算软件编程控制技术相结合,通过与输入控制系统中的标准膜片模板外观品质进行对比,实现高速高效、准确识别检测光学薄膜器件中滤光片的外观缺陷。可在生产线上根据外观品质标准模板中设定的类别进行自动分类装盒。
关键词
光学薄膜
外观特性
视觉检测
Keywords
Optical Coating
Outer Inspection
Visual Test
分类号
TN606 [电子电信—电路与系统]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
激光等离子体效应对硅表面损伤特征的影响
范卫星
韩敬华
李海波
杨李茗
冯国英
高翔
刘岩岩
包凌东
黄永忠
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
1
下载PDF
职称材料
2
KTP晶体的激光烧蚀特性及Raman光谱研究
韩敬华
段涛
范卫星
冯国英
杨李茗
牛瑞华
杨洁
翟玲玲
郭超
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
0
下载PDF
职称材料
3
大口径1064nm窄带滤光片的研制
范卫星
赵战刚
王平秋
周九林
马孜
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2006
3
下载PDF
职称材料
4
光通信滤光片外观特性及缺陷的视觉检测
卫红
曹一鸣
王小辉
范卫星
董兴华
《中国测试》
CAS
北大核心
2014
3
下载PDF
职称材料
5
光学薄膜元器件外观特性机器视觉检测系统
王小辉
范卫星
曹一鸣
董兴华
卫红
《自动化与信息工程》
2011
2
下载PDF
职称材料
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