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题名直线电机高速高精运动分段式三元复合控制
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作者
汪惟桢
张驰
李荣
桑娜
潘春荣
郑林卫
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机构
江西理工大学机电工程学院
中国科学院宁波材料技术与工程研究所浙江省机器人与智能制造装备技术重点实验室
宁波尚进自动化科技有限公司
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出处
《组合机床与自动化加工技术》
北大核心
2024年第1期114-117,122,共5页
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基金
浙江省自然科学基金项目(LD21E070002)
宁波市重点研发计划暨“揭榜挂帅”项目(2023Z025)
+1 种基金
宁波市自然科学基金项目(2022J315)
深圳市科技创新技术攻关重点项目(JSGG20200807171602028)。
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文摘
针对半导体键合机XY运动平台的直线电机在高速启停运动时残余振动较大的问题,提出了一种分段式三元复合控制方法以提高直线电机的定位精度。首先,基于正弦扫频的方法建立了直线电机被控对象的高阶精确模型;其次,在直线电机的高速运动阶段采用三阶前馈控制与PID反馈控制结合的复合控制方法,实现了高动态响应;分析了高速运动状态下扰动观测器对动态性能的影响,在定位阶段引入高阶扰动观测器以抑制残余振动。实验结果表明,与传统的“前馈+反馈”复合控制方法相比,分段式三元复合控制方法在不影响直线电机动态跟踪性能的情况下,使其定位误差调整至±0.5μm所需的时间降低了89%以上,显著提高了其定位精度。
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关键词
永磁同步直线电机
高速高精运动
残余振动抑制
高阶扰动观测器
分段式三元复合控制
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Keywords
permanent magnet synchronous linear motor
high speed and high precision motion
residual vibration suppression
higher-order disturbance observer
segmented ternary composite control
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分类号
TH165
[机械工程—机械制造及自动化]
TG659
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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