现代科学与人文精神

现代科学进入“大科学”的时代,是一种制度化的科学。我们需要确立现代科学的人文精神,坚持默顿规范的基本原则,以追求真、善、美等崇高的价值理想为核心,以树立生态伦理观为重点。现代科学的发展,必须在人文精神的指导之下进行,这样才能给人类社会或整个生态文明带来幸福和美好的未来。

对抛光片清洗技术的研究

研究了一种新颖的添加了表面活性剂和HF的RCA的改进工艺,并和标准RCA工艺与目前被广泛采用的稀释RCA工艺进行了比较后指出,改进工艺对金属沾污和表面颗粒的有效去除能力,使0.18mm以上的颗粒能够控制在15颗以内,金属沾污能够有效降至109原子cm-2以下(Al略高小于1010cm-2)。

兆声清洗法和离心喷射清洗法的比较

用基于改进的RCA清洗液结合兆声清洗法和离心喷射法清洗抛光的硅片 ,干燥后用激光扫描法测试抛光硅片表面颗粒 .结果表明 ,改进的RCA清洗液结合兆声的清洗方法对于去除硅片表面的微小颗粒具有更高的效率 .