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复合高功率脉冲磁控溅射放电等离子体特性
被引量:
7
1
作者
李小婵
柯培玲
+2 位作者
许辉
张栋
汪爱英
《真空》
CAS
2015年第1期4-8,共5页
高功率脉冲磁控溅射具有高的金属离化率,在薄膜制备表现出巨大的优势,成为当前磁控溅射技术领域一个新的发展趋势。高功率脉冲磁控溅射的放电特性、等离子体特性等微观参数对薄膜质量控制具有决定性作用,分析宏观参数如何影响微观参数,...
高功率脉冲磁控溅射具有高的金属离化率,在薄膜制备表现出巨大的优势,成为当前磁控溅射技术领域一个新的发展趋势。高功率脉冲磁控溅射的放电特性、等离子体特性等微观参数对薄膜质量控制具有决定性作用,分析宏观参数如何影响微观参数,有利于提高薄膜质量,稳定工艺。因此,本文研究了脉冲与直流电源并联模式的复合高功率脉冲磁控溅射过程中,脉冲电压(400~800 V)对Ti、Cr靶在Ar气氛中的放电特性、等离子体参数(等离子体电势、电子温度、电子密度)、基体电流的影响。结果表明:复合高功率脉冲磁控溅射Ti、Cr靶放电过程中,脉冲电压的增加有利于脉冲作用期间的靶电压、靶电流、基体电流增加;当Ti靶脉冲电压为600 V或Cr靶脉冲电压为700 V时,电子密度出现较大值。Cr靶与Ti靶放电相比,前者的靶电流、基体电流、等离子体电势、电子温度比后者更高,而电子密度却更低。
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关键词
高功率脉冲磁控溅射
复合
放电特性
等离子体特性
下载PDF
职称材料
不锈钢表面沉积DLC膜的结构和性能
被引量:
4
2
作者
孙丽丽
张栋
+3 位作者
陈仁德
柯培玲
许辉
汪爱英
《材料研究学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第9期697-702,共6页
应用线性离子束复合磁控溅射技术在不锈钢和硅片基体上制备DLC膜,研究了基体偏压和过渡层的厚度和结构对DLC薄膜结构和性能的影响。结果表明,在过渡层相同偏压为-200 V的条件下,薄膜中的sp3键含量更低,但是薄膜结构致密性的提高使其硬...
应用线性离子束复合磁控溅射技术在不锈钢和硅片基体上制备DLC膜,研究了基体偏压和过渡层的厚度和结构对DLC薄膜结构和性能的影响。结果表明,在过渡层相同偏压为-200 V的条件下,薄膜中的sp3键含量更低,但是薄膜结构致密性的提高使其硬度和膜基结合力反而提高;在偏压为-200V的条件下,随着过渡层厚度及层数的增加DLC薄膜中sp3含量均降低,同时过渡层和多层薄膜的硬度减小;在偏压为-100V条件下,过渡层厚度和层数对DLC薄膜sp3的含量没有明显的影响。当过渡层厚度为1.7μm、结构为Cr/CrC时,在11Cr17不锈钢基体上可制备出厚度为4.92μm、硬度为29.4 GPa、摩擦系数小于0.1、结合力高于70 N综合性能最佳的DLC薄膜。
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关键词
无机非金属材料
DLC膜
不锈钢
结合力
硬度
原文传递
题名
复合高功率脉冲磁控溅射放电等离子体特性
被引量:
7
1
作者
李小婵
柯培玲
许辉
张栋
汪爱英
机构
中国科学院
宁波
材料
技术
与工程研究所
宁波盾戈涂层技术有限公司
出处
《真空》
CAS
2015年第1期4-8,共5页
基金
国家自然科学基金项目(51375475)
宁波市创新团队项目(2011B81001)
宁波市智团创业项目(201301B7005008)资助的课题
文摘
高功率脉冲磁控溅射具有高的金属离化率,在薄膜制备表现出巨大的优势,成为当前磁控溅射技术领域一个新的发展趋势。高功率脉冲磁控溅射的放电特性、等离子体特性等微观参数对薄膜质量控制具有决定性作用,分析宏观参数如何影响微观参数,有利于提高薄膜质量,稳定工艺。因此,本文研究了脉冲与直流电源并联模式的复合高功率脉冲磁控溅射过程中,脉冲电压(400~800 V)对Ti、Cr靶在Ar气氛中的放电特性、等离子体参数(等离子体电势、电子温度、电子密度)、基体电流的影响。结果表明:复合高功率脉冲磁控溅射Ti、Cr靶放电过程中,脉冲电压的增加有利于脉冲作用期间的靶电压、靶电流、基体电流增加;当Ti靶脉冲电压为600 V或Cr靶脉冲电压为700 V时,电子密度出现较大值。Cr靶与Ti靶放电相比,前者的靶电流、基体电流、等离子体电势、电子温度比后者更高,而电子密度却更低。
关键词
高功率脉冲磁控溅射
复合
放电特性
等离子体特性
Keywords
high power impulse magnetron sputtering
hybrid
discharge characteristic
plasma characteristic
分类号
TB79 [一般工业技术—真空技术]
TB43 [一般工业技术]
下载PDF
职称材料
题名
不锈钢表面沉积DLC膜的结构和性能
被引量:
4
2
作者
孙丽丽
张栋
陈仁德
柯培玲
许辉
汪爱英
机构
中国科学院海洋新材料与应用
技术
重点实验室浙江省海洋材料与防护
技术
重点实验室中国科学院
宁波
材料
技术
与工程研究所
宁波盾戈涂层技术有限公司
出处
《材料研究学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第9期697-702,共6页
基金
浙江省科技厅重大专项项目2010C13025-1
宁波市智团创业项目201301B7005008资助~~
文摘
应用线性离子束复合磁控溅射技术在不锈钢和硅片基体上制备DLC膜,研究了基体偏压和过渡层的厚度和结构对DLC薄膜结构和性能的影响。结果表明,在过渡层相同偏压为-200 V的条件下,薄膜中的sp3键含量更低,但是薄膜结构致密性的提高使其硬度和膜基结合力反而提高;在偏压为-200V的条件下,随着过渡层厚度及层数的增加DLC薄膜中sp3含量均降低,同时过渡层和多层薄膜的硬度减小;在偏压为-100V条件下,过渡层厚度和层数对DLC薄膜sp3的含量没有明显的影响。当过渡层厚度为1.7μm、结构为Cr/CrC时,在11Cr17不锈钢基体上可制备出厚度为4.92μm、硬度为29.4 GPa、摩擦系数小于0.1、结合力高于70 N综合性能最佳的DLC薄膜。
关键词
无机非金属材料
DLC膜
不锈钢
结合力
硬度
Keywords
inorganic non-metallic materials
DLC films
stainless steel
adhesion strength
hardness
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
复合高功率脉冲磁控溅射放电等离子体特性
李小婵
柯培玲
许辉
张栋
汪爱英
《真空》
CAS
2015
7
下载PDF
职称材料
2
不锈钢表面沉积DLC膜的结构和性能
孙丽丽
张栋
陈仁德
柯培玲
许辉
汪爱英
《材料研究学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
4
原文传递
已选择
0
条
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参考文献
引证文献
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