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题名升高模式扫描电容显微镜
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作者
束开俊
侯士敏
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机构
安徽中医学院物理系
北京大学电子学系
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出处
《真空电子技术》
2002年第1期23-25,共3页
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文摘
分析了升高模式扫描电容显微镜 (LM SCM)的工作原理 ,得出了像的对比度正比于样品表面电容梯度分布 ,且在一定针尖 样品模型下 ,也可得到样品表面的电容分布。利用LM SCM研究了金电极的表面电容梯度分布 ,其横向分辨率优于 5 0nm 。
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关键词
扫描电容显微镜
升高模式
电容梯度
LM-SCM
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Keywords
Scanning capacitance microscope
Lift mode
Capacitance gradient
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分类号
TN16
[电子电信—物理电子学]
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题名Z衬度扫描透射电子显微术的前沿进展
被引量:1
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作者
束开俊
高利
林晓
高鸿钧
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机构
安徽中医学院物理系
中国科学院物理研究所纳米物理与器件实验室
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出处
《物理》
CAS
北大核心
2003年第9期613-617,共5页
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基金
国家自然科学基金 (批准号 :60 12 5 10 3 90 2 0 10 3 6
90 10 10 2 5 )资助项目
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文摘
文章介绍了Z衬度扫描透射电子显微术 (Z -scanningtransmissionelectronmicroscopy ,Z -STEM ,Z为原子序数 )的最新进展 :Z -STEM可以直接“观察”到晶体中原子的真实位置 ,Z衬度图像的分辨率在经过球差校正后可达 0 .6 ;在利用Z衬度成像技术对材料的阴极荧光 (cathodoluminescence ,CL)性质的研究中 ,首次观察到了“死层”(deadlayer)的存在 .然后 ,文章以半导体与结晶氧化物界面结构、Al72 Ni2 0 Co8十角形准晶结构以及SrTiO3晶界结构为例 ,具体介绍了Z衬度成像在测定物质结构与化学组成方面独特的优势 .
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关键词
扫描透射电子显微术
z衬度成像
原子分辨
成分分析
相干成像
微细结构测量
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Keywords
Z\|STEM, atomic structure, composition analysis
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分类号
TN16
[电子电信—物理电子学]
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