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升高模式扫描电容显微镜
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作者 束开俊 侯士敏 《真空电子技术》 2002年第1期23-25,共3页
分析了升高模式扫描电容显微镜 (LM SCM)的工作原理 ,得出了像的对比度正比于样品表面电容梯度分布 ,且在一定针尖 样品模型下 ,也可得到样品表面的电容分布。利用LM SCM研究了金电极的表面电容梯度分布 ,其横向分辨率优于 5 0nm 。
关键词 扫描电容显微镜 升高模式 电容梯度 LM-SCM
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Z衬度扫描透射电子显微术的前沿进展 被引量:1
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作者 束开俊 高利 +1 位作者 林晓 高鸿钧 《物理》 CAS 北大核心 2003年第9期613-617,共5页
文章介绍了Z衬度扫描透射电子显微术 (Z -scanningtransmissionelectronmicroscopy ,Z -STEM ,Z为原子序数 )的最新进展 :Z -STEM可以直接“观察”到晶体中原子的真实位置 ,Z衬度图像的分辨率在经过球差校正后可达 0 .6 ;在利用Z衬度... 文章介绍了Z衬度扫描透射电子显微术 (Z -scanningtransmissionelectronmicroscopy ,Z -STEM ,Z为原子序数 )的最新进展 :Z -STEM可以直接“观察”到晶体中原子的真实位置 ,Z衬度图像的分辨率在经过球差校正后可达 0 .6 ;在利用Z衬度成像技术对材料的阴极荧光 (cathodoluminescence ,CL)性质的研究中 ,首次观察到了“死层”(deadlayer)的存在 .然后 ,文章以半导体与结晶氧化物界面结构、Al72 Ni2 0 Co8十角形准晶结构以及SrTiO3晶界结构为例 ,具体介绍了Z衬度成像在测定物质结构与化学组成方面独特的优势 . 展开更多
关键词 扫描透射电子显微术 z衬度成像 原子分辨 成分分析 相干成像 微细结构测量
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