高精度微驱动装置的研究

本文分析压电陶瓷式微驱动装置的工作原理及其运动模式,设计了具有参数识别与自校正功能控制系统,改善了微驱动装置的性能,提高了驱动精度。在应用于国家光学计量仪器上,其性能指标达到国际同类产品先进水平。