为探讨C rT iA lN镀层高硬度、低磨损机理,应用UDP850/4镀层设备,在高速钢和单晶硅基体上制备了C rT iA lN复合镀层,并测试了其力学性能和摩擦学性能,采用XRD、SEM、TEM等手段对镀层微观组织结构进行了分析。结果表明:在75 V负偏压下沉...为探讨C rT iA lN镀层高硬度、低磨损机理,应用UDP850/4镀层设备,在高速钢和单晶硅基体上制备了C rT iA lN复合镀层,并测试了其力学性能和摩擦学性能,采用XRD、SEM、TEM等手段对镀层微观组织结构进行了分析。结果表明:在75 V负偏压下沉积的镀层具有显微硬度高、摩擦系数小,磨损率低,膜/基结合和韧性良好;镀层由C rN、T iN、A lN、C r2N和T i2N等纳米晶组成;纳米晶粒弥散于非晶的结构是硬度增强的机理;良好的膜基结合、韧性好和低摩擦系数是镀层具有低磨损的原因。展开更多
基金国家自然科学基金( the National Natural Science Foundation of China under Grant No.30570431)国家高技术研究发展计划( 863)( the National High-Tech Research and Development Plan of China under Grant No.2006AA01Z104)+4 种基金国家教育部新世纪人才支持计划( the New Century Excellent Talent Foundation from MOE of China under Grant No.NCET- 06- 555)安徽省优秀青年基金( No.06042088)安徽省教育厅自然科学( No.2006kj068A No.KJ2007B173)安徽省人才基金资助。