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“全扩散-镀镍”工艺生产晶闸管管芯
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作者 程德明 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1989年第2期15-17,共3页
“全扩散-镀镍”工艺具有节省黄金、技术与经济性较好的优点,国内已多用于功率整流二极管管芯的生产中.本文介绍了采用该工艺生产晶闸管管芯的工艺设计、技术情况.成果已获安徽省1987年优秀科技咨询项目二等奖.
关键词 晶闸管 管芯 全扩散 镀镍
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