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质谱仪真空系统的故障诊断及使用维护 被引量:7
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作者 杜珊 张延 《合肥学院学报(自然科学版)》 2006年第3期52-54,共3页
介绍了质谱仪器的真空要求和当前普遍使用的真空系统,并以Agilent 6890-5973N型气质联用仪为例,讨论了空气泄漏的症状、诊断方法及真空系统的日常维护.
关键词 质谱仪 真空 空气泄漏 故障诊断 维护
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