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扫描透射电镜分析纳米材料的固态稀释效应
1
作者
蔡宗强
鲍忠兴
金光祖
《电子元件与材料》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第7期88-92,共5页
当目标物尺寸小至5 nm后,在EDS成分分析时,样品中被散射的电子束会激发邻近材料的讯号,导致原分析区域内某些特定元素测得的成分浓度远低于目标物原有的浓度,此现象在本研究中称为固态稀释。本研究通过C2光圈改变电子探针尺寸和收敛角度...
当目标物尺寸小至5 nm后,在EDS成分分析时,样品中被散射的电子束会激发邻近材料的讯号,导致原分析区域内某些特定元素测得的成分浓度远低于目标物原有的浓度,此现象在本研究中称为固态稀释。本研究通过C2光圈改变电子探针尺寸和收敛角度,分析纳米结构元件氮化铟镓多层量子阱在不同试片厚度中铟(In)浓度的变化,借以探讨固态稀释问题。借助STEM仪器操作参数的调整,降低电子束扩展效应,EDS线扫描测得的铟浓度可以提升一倍左右。
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关键词
能量色散谱仪(EDS)
扫描透射电镜(STEM)
多层量子阱(MQW)
固态稀释
纳米材料
氮化铟镓
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职称材料
题名
扫描透射电镜分析纳米材料的固态稀释效应
1
作者
蔡宗强
鲍忠兴
金光祖
机构
北京大学软件与微电子学院
宜特
(
上海
)
检测
技术
有限公司
宜特
科技股份
有限公司
出处
《电子元件与材料》
CAS
CSCD
北大核心
2018年第7期88-92,共5页
文摘
当目标物尺寸小至5 nm后,在EDS成分分析时,样品中被散射的电子束会激发邻近材料的讯号,导致原分析区域内某些特定元素测得的成分浓度远低于目标物原有的浓度,此现象在本研究中称为固态稀释。本研究通过C2光圈改变电子探针尺寸和收敛角度,分析纳米结构元件氮化铟镓多层量子阱在不同试片厚度中铟(In)浓度的变化,借以探讨固态稀释问题。借助STEM仪器操作参数的调整,降低电子束扩展效应,EDS线扫描测得的铟浓度可以提升一倍左右。
关键词
能量色散谱仪(EDS)
扫描透射电镜(STEM)
多层量子阱(MQW)
固态稀释
纳米材料
氮化铟镓
Keywords
energy dispersive spectrometer (EDS)
scanning transmission electron microscopy (STEM)
multiple quantum well (MQW)
solid state dilution
nanomaterial
InGaN
分类号
TB332 [一般工业技术—材料科学与工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
扫描透射电镜分析纳米材料的固态稀释效应
蔡宗强
鲍忠兴
金光祖
《电子元件与材料》
CAS
CSCD
北大核心
2018
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职称材料
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