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集成硅压阻传感器的发展及运用
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作者 吕宏让 《化工自动化及仪表》 CAS 北大核心 1993年第5期40-41,共2页
介绍了集成硅压阻传感器的特点、应用及发展。
关键词 敏感芯片 集成硅 压阻传感器
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