以硝酸铝晶体和氧化锌粉末为原料,Al和Zn摩尔比为3:100,制备了相对密度为96%、电阻率为2.5×10-2Ω·cm的掺铝氧化锌(AZO)陶瓷靶材.采用直流磁控溅射法,室温条件下,在玻璃基片上制备了AZO透明导电薄膜.利用扫描电镜和X射线衍射...以硝酸铝晶体和氧化锌粉末为原料,Al和Zn摩尔比为3:100,制备了相对密度为96%、电阻率为2.5×10-2Ω·cm的掺铝氧化锌(AZO)陶瓷靶材.采用直流磁控溅射法,室温条件下,在玻璃基片上制备了AZO透明导电薄膜.利用扫描电镜和X射线衍射分析了薄膜的微结构.薄膜晶粒尺寸大,分布均匀,可见光透过率为89.92%,光学带隙Eg为2.18 e V,Urbach能量Eu为3.9e V,折射率n随波长的增大,先减小后增大,最后趋于稳定.展开更多
文摘以硝酸铝晶体和氧化锌粉末为原料,Al和Zn摩尔比为3:100,制备了相对密度为96%、电阻率为2.5×10-2Ω·cm的掺铝氧化锌(AZO)陶瓷靶材.采用直流磁控溅射法,室温条件下,在玻璃基片上制备了AZO透明导电薄膜.利用扫描电镜和X射线衍射分析了薄膜的微结构.薄膜晶粒尺寸大,分布均匀,可见光透过率为89.92%,光学带隙Eg为2.18 e V,Urbach能量Eu为3.9e V,折射率n随波长的增大,先减小后增大,最后趋于稳定.
