山东省经济高质量发展研究

自2018年实施新旧动能转换工程以来,山东省依靠独特的地理区位、完善的产业链体系、广阔的消费市场空间、丰富的人力资源等优势,在经济发展速度与质量上取得突出成就。但是,仍然面临着亟待解决的问题和挑战,未来可以从强化中心城市引领等方面着手,进一步推动经济高质量发展。

梳齿结构深刻蚀工艺改进

梳齿型谐振式传感器对谐振器梳齿的形貌有很高的要求,需要梳齿侧壁很好的垂直度、粗糙度以及片间均匀性等。采用感应耦合等离子体(ICP)深硅刻蚀工艺对具有深宽比较大的梳齿结构进行深刻蚀研究。影响深硅刻蚀的主要因素包括SF_(6)和C_(4)F_(8)气体流量、腔室压力、刻蚀与钝化保护时间、下基板功率等工艺参数,着重研究了片间均匀性、垂直度、粗糙度等影响结构性能的几个方面,得到了宽4.5μm、深70μm的梳齿结构,垂直度为89.7°,侧壁粗糙度46 nm,均匀性1.2%的优化工艺,为高精度MEMS梳齿型传感器的制作提供了基础。