一种高精度微电流测量放大器的研制

介绍了用于电子束曝光机束斑和束流测量的高精度电流/电压转换放大器。根据束流极其微弱这一特定情况,为了得到超低漂移、超低噪声和强抗干扰的高精度性能指标要求,采用了对称补偿电路设计方案,合理选用高精度集成电路作为电路的核心器件。为了加强抗干扰能力,对关键技术进行了针对性的有效处理。通过实际工作运行,证明效果良好工作可靠,满足了电子束曝光机束斑和束流的高精度测量要求。

精密高压稳压电源的研究与设计

介绍了用于新型电子束曝光机的30 kV精密高压稳压电源。该电源系统采用了直接调整和间接调整相结合的双闭环调整方案,采用了集中补偿和分散补偿相结合的系统补偿方式,成功地解决了既有高静态精度又有高动态稳定性的问题。为了保证高精度、高稳定性和低纹波电压等技术指标的实现,采取了多项合理的特定电路设计。针对电源系统输出直流高压这一特点,对关键技术采取了针对性的切实有效的技术处理,从而满足了高压电源的高可靠性和长期高稳定性的性能要求。各项技术指标均达到或超过原设计要求。

一种复合调整型精密高压电源

为保证电子束曝光机用高压电源既有高静态精度,又有高动态稳定性,采用直接调整和间接调整相结合的复合调整方案,同时采用集中补偿和分散补偿相结合的复合补偿方案。为实现高压稳压电源系统的高精密、高稳定和低纹波电压等技术指标,采取了多项合理的特定电路设计和有效的技术处理措施。通过各项性能指标的测试和长期实际工作运行,证明各项技术指标均达到或超过原设计要求,保证了电子束曝光机的制版精度。

一种自动跟踪工频陷波器的研究与设计

介绍了一种新型线性自动跟踪工频陷波器的电路结构。该陷波器应用于电子束曝光机束流测量电路中,用来抑制工频干扰对测量精度的影响。基于对自动跟踪陷波器的基本工作原理分析,陷波器采用了频率/电压转换器与压控带阻滤波器相结合的设计方案,成功地解决了工频频偏对常规工频陷波器滤波性能的严重影响问题。提出了提高抑制工频干扰能力的设计要点和电路调试方法。通过性能指标的测试和长期实际运行应用,证明陷波器满足了电子束测量中对工频干扰进行强抑制的要求,提高了电子束曝光机的制版质量。