电子特气六氟丁二烯合成工艺进展

六氟丁二烯是一种新型的含氟电子气体,具有优异的蚀刻选择性和环保性能,应用前景广阔。主要介绍了现阶段六氟丁二烯的合成工艺路线及改进方向。