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ZnO薄膜气敏元件的反应温变和表面反应速率方程
1
作者
李长庆
邢建平
+2 位作者
黄少艳
徐勇
裘南畹
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第8期1723-1726,共4页
提出了一种研究气敏元件和材料反应温变的方法和实验装置;给出了反应温变Δtrea随气体浓度C变化的规律;给出了反应放热率Prea与反应温变Δtrea的关系式;得到了表面反应的速率方程一般形式,它包括了目前常用的两种经验公式:双曲线型和幂...
提出了一种研究气敏元件和材料反应温变的方法和实验装置;给出了反应温变Δtrea随气体浓度C变化的规律;给出了反应放热率Prea与反应温变Δtrea的关系式;得到了表面反应的速率方程一般形式,它包括了目前常用的两种经验公式:双曲线型和幂函数型.
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关键词
ZNO
薄膜
反应温变
表面
速率方程
下载PDF
职称材料
ZnO气敏薄膜的实用化——一种新的气敏基材料
2
作者
黄少艳
邢建平
+2 位作者
李长庆
徐勇
裘南畹
《功能材料与器件学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第6期640-644,共5页
ZnO薄膜是最早发现有良好气敏特性,并且也是最早(1962)被提出用它来研制气敏元件的金属氧化物气敏基材料;然而近半个世纪以来没有实现。最近通过用粉末溅射解决气敏层的掺杂稳定性;通过选择合适的绝缘衬底(Al_2O_3)和适当选择溅射参数...
ZnO薄膜是最早发现有良好气敏特性,并且也是最早(1962)被提出用它来研制气敏元件的金属氧化物气敏基材料;然而近半个世纪以来没有实现。最近通过用粉末溅射解决气敏层的掺杂稳定性;通过选择合适的绝缘衬底(Al_2O_3)和适当选择溅射参数得到掺杂稳定,结构稳定,性能良好的ZnO薄膜酒敏元件。通过对芯片和接线柱的超声双点焊获得超小型悬挂式的气敏元件,并用它做出可检测100ppm和500ppm两种酒气浓度的报警器。
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关键词
ZNO薄膜
粉末溅射
双点焊
原文传递
题名
ZnO薄膜气敏元件的反应温变和表面反应速率方程
1
作者
李长庆
邢建平
黄少艳
徐勇
裘南畹
机构
山东大学
信息科学与工程学院
山东大学水电中心
山东大学
纳米薄膜电子功能材料实验室
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第8期1723-1726,共4页
基金
国家自然自然科学基金项目资助(60372030)
山东省火炬计划项目资助(111600/04040214)
文摘
提出了一种研究气敏元件和材料反应温变的方法和实验装置;给出了反应温变Δtrea随气体浓度C变化的规律;给出了反应放热率Prea与反应温变Δtrea的关系式;得到了表面反应的速率方程一般形式,它包括了目前常用的两种经验公式:双曲线型和幂函数型.
关键词
ZNO
薄膜
反应温变
表面
速率方程
Keywords
zinc oxide
thin film
reaction temperature change
surface
rate equation
分类号
TP212.3 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
下载PDF
职称材料
题名
ZnO气敏薄膜的实用化——一种新的气敏基材料
2
作者
黄少艳
邢建平
李长庆
徐勇
裘南畹
机构
山东大学
信息科学与工程学院
山东大学水电中心
山东大学
纳米薄膜电子功能材料实验室
出处
《功能材料与器件学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第6期640-644,共5页
基金
国家自然科学基金(No.60372030)
山东省火炬计划项目(No.111600/04040214)
文摘
ZnO薄膜是最早发现有良好气敏特性,并且也是最早(1962)被提出用它来研制气敏元件的金属氧化物气敏基材料;然而近半个世纪以来没有实现。最近通过用粉末溅射解决气敏层的掺杂稳定性;通过选择合适的绝缘衬底(Al_2O_3)和适当选择溅射参数得到掺杂稳定,结构稳定,性能良好的ZnO薄膜酒敏元件。通过对芯片和接线柱的超声双点焊获得超小型悬挂式的气敏元件,并用它做出可检测100ppm和500ppm两种酒气浓度的报警器。
关键词
ZNO薄膜
粉末溅射
双点焊
Keywords
ZnO thin film
powder sputter
double point weld
分类号
TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]
原文传递
题名
作者
出处
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1
ZnO薄膜气敏元件的反应温变和表面反应速率方程
李长庆
邢建平
黄少艳
徐勇
裘南畹
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2007
0
下载PDF
职称材料
2
ZnO气敏薄膜的实用化——一种新的气敏基材料
黄少艳
邢建平
李长庆
徐勇
裘南畹
《功能材料与器件学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
0
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