电子束曝光机静电偏转系统

以静电极板为电子束曝光机偏转负载,用双通道扫描原理进行扫描,并使用计算机辅助设计研究电子束曝光机聚焦偏转系统的结构。由SDS-3电子束曝光机试验结果表明,复合静电偏转可以达到磁偏转相似的像差水平。

基于PC机控制的电子束图形控制器

介绍了新研制的以PC微机为控制机的电子束图形数字控制器的接口、结构。