日立H-800型电镜故障举例

1.故障现象一:对样品进行衍射分析时,衍射斑点突然消失,DIFFRACTION STOP键不再起作用,调整BEAM TILT旋钮,也不见光斑。分析判断:根据上述现象分析,出现故障可能性最大的部位在第一中间镜稳流器电路中,因为衍射状态是由第一中间电流控制的。经查,第一中间镜稳流器电路中的调整衍Q30（2SD525）和限流保护管Q28（2SD768）被击穿损坏。

日立H—800型电子显微镜真空系统简介

电子显微镜（TEM）真空系统的真空度要求在6.67×10-3Pa 以上。为了改善真空性能,H—800型电子显微镜首先将不锈钢衬管插入电子束通道,以减小抽气体积,而将其它部件置于真空之外后,又减少了放气源。另外,H—800设置了两个抽气系统,分别使用了三台抽速为160l/min 机械泵（RP1,2,3）和两台抽速为570l/S 的油扩散泵。所以,该真空系统的真空度可达1.33×10-4Pa 或更高。