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题名8英寸铌酸锂晶体生长研究
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作者
孙德辉
韩文斌
李陈哲
彭立果
刘宏
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机构
济南大学前沿交叉科学研究院
山东恒元半导体科技有限公司
山东大学晶体材料国家重点实验室
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出处
《人工晶体学报》
CAS
北大核心
2024年第3期434-440,共7页
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基金
山东省自然科学基金重大基础研究项目(ZR2021ZD20)
国家自然科学基金(51802113)
+1 种基金
山东省高等学校青创团队计划
中央引导地方科技发展专项资金(YDZX2022074)。
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文摘
铌酸锂单晶薄膜(LNOI)在新一代信息技术中关键通信器件领域的作用日益显著,随着铌酸锂单晶薄膜制备技术和光子集成技术的发展,降低芯片成本、增加芯片集成度是光子集成芯片永恒不变的发展方向,因此迫切需求大尺寸铌酸锂晶体。本文讨论了大尺寸坩埚中熔体自然对流随着液面下降的变化规律,研究了8英寸(1英寸=2.54 cm)铌酸锂Z轴、X轴两个提拉方向的生长特点,获得等径尺寸大于φ210 mm×50 mm的8英寸Z轴、X轴铌酸锂晶体。1 mm厚X轴铌酸锂晶圆的透过率显示波长380~3 300 nm光谱的透过率超过了70%,晶片纹影图像显示晶体中存在折射率脉理缺陷。
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关键词
铌酸锂
8英寸
自然对流
提拉法
折射率脉理
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Keywords
lithium niobate
8-inch
natural convection
Czochralski method
refractive index ripple
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分类号
O78
[理学—晶体学]
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题名高能强场太赫兹源与铌酸锂晶体
被引量:1
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作者
韩文斌
孙德辉
王蒙
李陈哲
刘首廷
刘宏
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机构
济南大学前沿交叉科学研究院
山东大学晶体材料国家重点实验室
山东恒元半导体科技有限公司
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出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第17期23-33,共11页
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基金
山东省自然科学基金重大基础研究项目(ZR2021ZD20)
国家自然科学基金(51802113)
山东省高等学校青创团队计划、中央引导地方科技发展专项资金(YDZX2022074)。
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文摘
高能强场太赫兹(THz)源在国土安全、通信雷达、生物医疗等领域有重要的应用价值。然而,一直以来THz源的辐射输出能量小、转化效率低,阻碍了强场THz前沿科学与应用研究的发展。基于铌酸锂倾斜波前技术,飞秒激光抽运铌酸锂晶体有望实现能量更高的极端强场THz输出。从材料角度阐述了铌酸锂强场THz源产出的研究进展,总结了强场THz源对铌酸锂晶体的性能要求:均匀掺镁铌酸锂、低浓度掺镁近化学计量比铌酸锂、大口径铌酸锂晶体。最后,介绍了近年来周期极化铌酸锂和铌酸锂单晶薄膜等微纳结构的调控在THz源领域的应用研究。
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关键词
非线性光学
太赫兹波
铌酸锂晶体
强场太赫兹辐射
均匀掺镁
化学计量比
大口径
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Keywords
nonlinear optics
terahertz wave
lithium niobate crystal
strong-field terahertz radiation
uniform magnesium doping
stoichiometric ratio
large aperture
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分类号
O437
[机械工程—光学工程]
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