电子散斑干涉载频调制形貌测量方法的分析

根据电子散斑干涉载频调制测量物体形貌的基本原理,物体表面的微小偏转可引入包含物体高度信息的载波干涉条纹。将物体的偏转视为变形,对物体变形与载波干涉条纹之间的关系进行了讨论,得出了离面位移引入载波和面内位移引入含有物体高度信息相位的结论。发现利用典型电子散斑干涉系统测量物体形貌效果最好,并通过实验得到了验证。

载频电子散斑位移场分离技术研究

提出了载波调制分离位移场的方法。在双光束电子散斑干涉(ESPI)中增加参考光,使这路参考光为两光束所共用。通过偏转物体引入载波调制条纹,具有条纹对比度高的优点。物体加载后,载波条纹受物体变形的调制而发生弯曲变形。实验时,两束光各自独立地对变形物体进行测量,采集物体变形前后的条纹,利用傅里叶变换法,可分别解调得到包含离面和面内位移信息的2幅位移图。理论分析表明,只需简单的位相运算,就能够将面内位移场与离面位移场分离。利用典型的周边固定、中心加载的圆盘实验,表明了该方法的可行性;周边固定、中心加载的圆盘变形所包含的面内位移大小与离面位移相比,大约低1个数量级。