低温等离子处理技术及装置研究

考虑到低温等离子体处理技术在工业中应用广泛,设计了一种基于交直流叠加供电的低温等离子体装置。完成了主电路的交流电源、直流电源及交直流叠加电路的参数设计,建立了SIMULINK仿真模型,实现了电源主电路、低温等离子体放电过程及交直流叠加供电的低温等离子装置的仿真,并通过对结果的分析证实了系统方案的可行性。