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低腐蚀隧道密度压电石英晶体 被引量：1
1
作者 韩建儒 周广勇 +6 位作者 张树君 程振翔 陈焕矗 李昆 张宪昆 戚思柏 刘成万 《山东大学学报（自然科学版）》 CSCD 2000年第1期69-73,共5页
小型化高频器件的发展 ,需要一些低隧道密度压电石英晶体 .本文分析了低隧道密度石英晶体的特点 ,用水热法生长了低隧道密度石英晶体 .报道了生长这种晶体的工艺条件 ,对产品的性能进行了测试 .讨论了工艺和技术条件对产品质量的影响 .
关键词 腐蚀隧道 石英晶体 水热生长 质量 压电晶体
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