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石油勘探MEMS传感器的研究
被引量:
7
1
作者
颜永安
牛德芳
孙正鼐
《物探装备》
2005年第1期1-5,共5页
用于信号采集的传感器在石油勘探中是一个很重要的设备。本文主要介绍了一种新的石油勘探MEMS传感器的结构特点、介质材料以及封装方式,并详细地介绍了该产品的主要技术指标。
关键词
石油勘探设备
传感器
反射波
灵敏度
电容
信号处理系统
震源
地震波
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题名
石油勘探MEMS传感器的研究
被引量:
7
1
作者
颜永安
牛德芳
孙正鼐
机构
山东省威海市双丰电子集团公司
出处
《物探装备》
2005年第1期1-5,共5页
基金
863项目中的一个研究课题课题编号:2004AA404210
文摘
用于信号采集的传感器在石油勘探中是一个很重要的设备。本文主要介绍了一种新的石油勘探MEMS传感器的结构特点、介质材料以及封装方式,并详细地介绍了该产品的主要技术指标。
关键词
石油勘探设备
传感器
反射波
灵敏度
电容
信号处理系统
震源
地震波
Keywords
MEMS sensor, differential capacitor, structure
分类号
P631.43 [天文地球—地质矿产勘探]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
石油勘探MEMS传感器的研究
颜永安
牛德芳
孙正鼐
《物探装备》
2005
7
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