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基于多重曝光法的多波长FBG制备和实验研究
1
作者
宋志强
祁海峰
+2 位作者
郭健
王昌
彭刚定
《光电子.激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第3期409-413,共5页
利用扫描曝光法,通过控制曝光前施加在光纤上的拉力,经过多次不同拉力状态下的光刻技术,实现了多波长光纤Bragg光栅(FBG)的制作。实验发现,多重曝光的子FBG位置和叠加程度对子FBG的谱形有很大的影响,只有当各层子FBG长度、位置完全重叠...
利用扫描曝光法,通过控制曝光前施加在光纤上的拉力,经过多次不同拉力状态下的光刻技术,实现了多波长光纤Bragg光栅(FBG)的制作。实验发现,多重曝光的子FBG位置和叠加程度对子FBG的谱形有很大的影响,只有当各层子FBG长度、位置完全重叠时,各波长光谱才不会受到短波振荡的影响;对载H增敏光纤,第n+1层子FBG的刻写,总会使前面n层子FBG的波长变大,反射率变强;而对掺Ge光敏光纤,多重曝光只将先制作的子FBG波长变大,而所有子FBG反射率都会变弱。通过合理设计曝光量,在载H单模光纤上制作了阻带谱形一致的四波长FBG。经实验测试,子FBG波长具有相同的温度系数和应变系数。
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关键词
光纤Bragg光栅(FBG)
多波长FBG
相位掩膜板
多重曝光
原文传递
题名
基于多重曝光法的多波长FBG制备和实验研究
1
作者
宋志强
祁海峰
郭健
王昌
彭刚定
机构
山东省科学院激光研究所、山东省光纤传感技术重点实验室
新南威尔士大学电子工程与通信
学院
出处
《光电子.激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第3期409-413,共5页
基金
国家自然科学基金(61205083)
山东省自主创新成果转化重大专项(2011ZHZX1A0107)资助项目
文摘
利用扫描曝光法,通过控制曝光前施加在光纤上的拉力,经过多次不同拉力状态下的光刻技术,实现了多波长光纤Bragg光栅(FBG)的制作。实验发现,多重曝光的子FBG位置和叠加程度对子FBG的谱形有很大的影响,只有当各层子FBG长度、位置完全重叠时,各波长光谱才不会受到短波振荡的影响;对载H增敏光纤,第n+1层子FBG的刻写,总会使前面n层子FBG的波长变大,反射率变强;而对掺Ge光敏光纤,多重曝光只将先制作的子FBG波长变大,而所有子FBG反射率都会变弱。通过合理设计曝光量,在载H单模光纤上制作了阻带谱形一致的四波长FBG。经实验测试,子FBG波长具有相同的温度系数和应变系数。
关键词
光纤Bragg光栅(FBG)
多波长FBG
相位掩膜板
多重曝光
Keywords
fiber Bragg grating(FBG)
multi-wavelength FBG
phase mask
multiple exposures
分类号
O436.1 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于多重曝光法的多波长FBG制备和实验研究
宋志强
祁海峰
郭健
王昌
彭刚定
《光电子.激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
0
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已选择
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