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扩散硅精密数字压力计 被引量:3
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作者 张秀珍 杨魁 林治安 《计量技术》 1995年第9期19-20,共2页
在压力的精密测量领域采用智能仪表是目前的发展方向。本文介绍了新研制的KSY型扩散硅数字压力计的工作原理、性能指标及温度补偿措施。
关键词 扩散硅 压力计 传感器 压力传感器
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