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酸性镀铜整平剂的应用现状及展望 被引量:2
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作者 武锦辉 刘鑫宁 +2 位作者 吴波 李宁 黎德育 《电镀与精饰》 CAS 北大核心 2023年第4期77-87,共11页
随着制造技术向微小化、复杂化、高精度化方向发展,电镀铜镀液中添加剂选择和使用变得更加重要。整平剂作为其中的关键组分,对于实现高平整性镀层、通孔盲孔填充等至关重要。本文简要综述了酸性硫酸盐镀铜整平剂的作用原理,并根据特征... 随着制造技术向微小化、复杂化、高精度化方向发展,电镀铜镀液中添加剂选择和使用变得更加重要。整平剂作为其中的关键组分,对于实现高平整性镀层、通孔盲孔填充等至关重要。本文简要综述了酸性硫酸盐镀铜整平剂的作用原理,并根据特征基团的不同,对目前研究开发的整平剂进行了分类与总结。最后介绍了整平剂目前的应用现状,并对添加剂未来研究方向和发展进行了展望。 展开更多
关键词 酸性镀铜 整平剂 染料 非染料 季铵盐 无机化合物
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