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谈谈非ODS清洗设备
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作者 邹熹 《LSI制造与测试》 1997年第4期13-16,共4页
关键词 清洗技术 ODS 清洗设备 无线电工厂
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氟碳溶剂脱水技术
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作者 金杏林 《机械工艺师》 CSCD 1989年第7期23-24,共2页
用氟碳溶剂对工件进行脱水,是目前世界上应用比较广泛的新工艺,主要用于硅片、显像管电子枪、光学镜片、陶瓷薄层、玻璃饰品、印刷电路板、精密轴承、机械零件、塑料件等去除表面的水分。特别是真空镀膜(蒸镀、溅镀、离子镀)零件。
关键词 氟碳溶剂 脱水技术 真空镀膜
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