石墨烯微纳结构加工技术的研究进展

简单介绍了石墨烯独特的光电子性质,说明实现其在光电子器件中应用的有效方法是进行微纳加工。接下来对主要的石墨烯微纳加工技术——掩膜光刻、转移压印以及激光直写和干涉进行详细阐述,通过实例对每种加工技术的关键步骤和特点进行说明,并分析比较了不同加工技术的优缺点。然后对近期出现的转移压印辅助光刻和飞秒直写辅助转移压印技术的加工流程进行详细介绍,阐述将两种加工技术相结合应用于石墨烯微纳结构加工的优势。最后,简单展望了石墨烯微纳加工未来的发展趋势,指出需进一步研究的问题,对如何更好地实现石墨烯微纳结构的加工提出一些建议。

飞秒四光束干涉技术加工石墨烯纳米网

由于石墨烯的特殊半导体性质,实现其在电子器件中实际应用的关键是对石墨烯层进行微纳结构处理。简单介绍了飞秒四光束干涉技术应用于石墨烯微纳加工的优势。对实现飞秒四光束干涉的两种实验方法进行了介绍并比较。然后选用改进的衍射分束方法对石墨烯进行加工,得到规则的二维纳米网结构,网线的最小宽度可达600 nm左右。与Matlab理论模拟的四光束干涉花样进行比较,通过调整干涉光束的能量,使得加工的结构更加规则,和理论花样十分吻合。该方法将对石墨烯微纳结构处理及其在集成微电子器件中的应用带来新的思路。