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题名有机载体对铜电极浆料性能影响的研究
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作者
招明睿
刘焕威
赵小波
姚英邦
鲁圣国
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机构
广东工业大学集成电路学院和材料与能源学院
广东省智能材料和能量转化器件工程技术研究中心
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出处
《电子元件与材料》
CAS
北大核心
2023年第5期568-577,共10页
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基金
国家自然科学基金(51872053,52272105)
国家自然科学基金-广东省联合基金(U1501246)
+2 种基金
广东省自然科学基金重大基础研究培育项目(2015A030308004)
东莞市核心技术攻关前沿项目(2019622101006)
先进能源科学与技术广东省实验室佛山分中心佛山仙湖实验室开放基金重点项目(XHT2020-011)。
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文摘
随着微型电子产品的蓬勃发展,传统的贵金属浆料由于成本等因素逐渐无法满足市场的需求,因此需要开发具有成本优势的新型贱金属电子浆料。铜电极浆料因为整体优势而受到广泛关注。电子浆料在印刷使用过程中对粘度、触变性等流变性能有着严格的要求,而流变性能主要由有机载体决定。通过正交试验的方法,系统地研究了有机载体中各成分的配比对铜电极浆料粘度、触变性的影响。表征了烧结后铜膜的方阻、附着力。结果表明,粘结剂乙基纤维素对铜浆性能影响最大。当蓖麻油为质量分数9%,氢化蓖麻油为2%,乙基纤维素为3%时,能得到综合性能最优的铜浆。在950℃烧结2 h后可得到方阻小于2.97 mΩ/□、附着力高于4.13 MPa的铜膜。
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关键词
贱金属
铜导电浆料
有机载体
正交试验
流变性能
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Keywords
base metal
copper conductive paste
organic vehicle
orthogonal test
rheological properties
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分类号
TG146.11
[金属学及工艺—金属材料]
TB34
[一般工业技术—材料科学与工程]
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