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弯曲振动模式压电超声微马达研究 被引量：12
1
作者 董蜀湘 王树昕 +3 位作者 沈文江 李龙土 桂治轮 邱海波 《声学学报》 EI CSCD 北大核心 1999年第2期120-127,共8页
对一种圆柱状结构、基于弯曲振动模式的压电超声微马达作了一些结构改进性探索和实验研究，并采用有限元方法对其振动模式进行了分析．已研制的直径为15mm、长25mm的微马达样机，显示出非常高的角分辨率（0．01°）、低速（30r／min... 对一种圆柱状结构、基于弯曲振动模式的压电超声微马达作了一些结构改进性探索和实验研究，并采用有限元方法对其振动模式进行了分析．已研制的直径为15mm、长25mm的微马达样机，显示出非常高的角分辨率（0．01°）、低速（30r／min～70r／min）和大的力矩（0．055N.m）特性，已在激光多维精密控制系统中获得成功的应用． 展开更多
关键词 压电 超声微马达 结构 原理 弯曲振动模式
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