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厚度对TiN薄膜力学性能的影响
被引量:
11
1
作者
赵升升
周晟昊
+2 位作者
余红雅
匡同春
曾德长
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第3期291-295,共5页
采用电弧离子镀方法制备了不同厚度TiN薄膜,并对其硬度、结合力、残余应力、摩擦磨损特性等力学性能进行了系统性研究,以揭示硬质薄膜厚度对其力学性能的影响规律。结果表明,随着厚度增加,薄膜表面大颗粒增加,膜基界面剪切力增大,薄膜...
采用电弧离子镀方法制备了不同厚度TiN薄膜,并对其硬度、结合力、残余应力、摩擦磨损特性等力学性能进行了系统性研究,以揭示硬质薄膜厚度对其力学性能的影响规律。结果表明,随着厚度增加,薄膜表面大颗粒增加,膜基界面剪切力增大,薄膜硬度逐渐增加,结合力逐渐下降,摩擦系数略有下降;而薄膜应力沿层深分布趋势基本一致,都呈钟罩形分布;磨损率随薄膜厚度变化不大,即薄膜越厚越耐磨。
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关键词
硬质薄膜
力学性能
薄膜厚度
TIN
残余应力
下载PDF
职称材料
退火对大厚度TiAlN涂层力学性能影响的研究
被引量:
2
2
作者
赵升升
周晟昊
曾德长
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第2期182-187,共6页
对不同温度真空退火的大厚度TiAlN涂层(厚度为65.3μm)的硬度、结合强度、残余应力、摩擦磨损等力学性能进行了系统的研究,以揭示真空退火工艺对大厚度涂层力学性能的影响规律。结果表明,随着退火温度增加,涂层应力得到释放,600℃退火...
对不同温度真空退火的大厚度TiAlN涂层(厚度为65.3μm)的硬度、结合强度、残余应力、摩擦磨损等力学性能进行了系统的研究,以揭示真空退火工艺对大厚度涂层力学性能的影响规律。结果表明,随着退火温度增加,涂层应力得到释放,600℃退火后全膜厚平均应力降至-0.154 GPa,应力沿层深分布更加均匀,涂层硬度逐渐下降,但仍保持较高硬度值,膜基结合强度增强,磨损率略有上升。
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关键词
真空退火
大厚度涂层
TIALN
力学性能
残余应力
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职称材料
题名
厚度对TiN薄膜力学性能的影响
被引量:
11
1
作者
赵升升
周晟昊
余红雅
匡同春
曾德长
机构
华南理工大学
材料
科学与
工程
学院
深圳职业
技术
学院深圳现代设计与制造
技术
重点实验室
广东正德材料表面科技有限公司华南理工大学中山材料表面工程与薄膜技术创新研发中心
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第3期291-295,共5页
基金
国家自然科学基金项目(No.51401128)
深圳市科技计划项目(No.JCYJ20140508155916426)
中山市科技计划与创新团队项目
文摘
采用电弧离子镀方法制备了不同厚度TiN薄膜,并对其硬度、结合力、残余应力、摩擦磨损特性等力学性能进行了系统性研究,以揭示硬质薄膜厚度对其力学性能的影响规律。结果表明,随着厚度增加,薄膜表面大颗粒增加,膜基界面剪切力增大,薄膜硬度逐渐增加,结合力逐渐下降,摩擦系数略有下降;而薄膜应力沿层深分布趋势基本一致,都呈钟罩形分布;磨损率随薄膜厚度变化不大,即薄膜越厚越耐磨。
关键词
硬质薄膜
力学性能
薄膜厚度
TIN
残余应力
Keywords
Hard Films
Mechanical properties
Thickness of Film
TiN
Residual Stress
分类号
TG174.444 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
退火对大厚度TiAlN涂层力学性能影响的研究
被引量:
2
2
作者
赵升升
周晟昊
曾德长
机构
深圳职业
技术
学院深圳现代设计与制造
技术
重点实验室
华南理工大学
材料
科学与
工程
学院
广东正德材料表面科技有限公司华南理工大学中山材料表面工程与薄膜技术创新研发中心
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第2期182-187,共6页
基金
国家自然科学基金项目(No.51401128)
深圳市科技计划项目(No.JCYJ20140508155916426)
文摘
对不同温度真空退火的大厚度TiAlN涂层(厚度为65.3μm)的硬度、结合强度、残余应力、摩擦磨损等力学性能进行了系统的研究,以揭示真空退火工艺对大厚度涂层力学性能的影响规律。结果表明,随着退火温度增加,涂层应力得到释放,600℃退火后全膜厚平均应力降至-0.154 GPa,应力沿层深分布更加均匀,涂层硬度逐渐下降,但仍保持较高硬度值,膜基结合强度增强,磨损率略有上升。
关键词
真空退火
大厚度涂层
TIALN
力学性能
残余应力
Keywords
Vacuum Annealing
Coating with Large Thickness
TiAlN
Mechanical Properties
Residual Stresses
分类号
TG174.4 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
作者
出处
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被引量
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1
厚度对TiN薄膜力学性能的影响
赵升升
周晟昊
余红雅
匡同春
曾德长
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
11
下载PDF
职称材料
2
退火对大厚度TiAlN涂层力学性能影响的研究
赵升升
周晟昊
曾德长
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017
2
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职称材料
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