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InP/SiO_2纳米复合膜的微观结构和光学性质
被引量:
3
1
作者
丁瑞钦
王浩
+4 位作者
W.F.LAU
W.Y.CHEUNG
S.P.WONG
王宁娟
于英敏
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第8期1574-1579,共6页
应用射频磁控共溅射方法在石英玻璃和抛光硅片上制备了InP SiO2 复合薄膜 ,并在几种条件下对这些薄膜进行退火 .X射线光电子能谱和卢瑟福背散射实验结果表明 ,复合薄膜中InP和SiO2 的化学组分都大体上符合化学计量配比 .X射线衍射和激...
应用射频磁控共溅射方法在石英玻璃和抛光硅片上制备了InP SiO2 复合薄膜 ,并在几种条件下对这些薄膜进行退火 .X射线光电子能谱和卢瑟福背散射实验结果表明 ,复合薄膜中InP和SiO2 的化学组分都大体上符合化学计量配比 .X射线衍射和激光喇曼谱实验结果都证实了复合薄膜中形成了InP纳米晶粒 .磷气氛保护下的高温(5 2 0℃ )退火可以消除复合薄膜中残存的In和In2 O3 并得到了纯InP SiO2 纳米复合薄膜 .
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关键词
纳米晶粒
微观结构
光学性质
纳米复合膜
磷化铟
原文传递
题名
InP/SiO_2纳米复合膜的微观结构和光学性质
被引量:
3
1
作者
丁瑞钦
王浩
W.F.LAU
W.Y.CHEUNG
S.P.WONG
王宁娟
于英敏
机构
广东省五邑大学薄膜与纳米材料研究所
香港中文
大学
电子工程系暨
材料
科技
研究
中心
南开
大学
光电子
薄膜
器件与技术
研究所
出处
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第8期1574-1579,共6页
基金
国家自然科学基金 (批准号 :6 980 6 0 0 8)
广东省自然科学基金(批准号 :970 716 )
中山大学超快速激光光谱学国家重点实验室开放课
文摘
应用射频磁控共溅射方法在石英玻璃和抛光硅片上制备了InP SiO2 复合薄膜 ,并在几种条件下对这些薄膜进行退火 .X射线光电子能谱和卢瑟福背散射实验结果表明 ,复合薄膜中InP和SiO2 的化学组分都大体上符合化学计量配比 .X射线衍射和激光喇曼谱实验结果都证实了复合薄膜中形成了InP纳米晶粒 .磷气氛保护下的高温(5 2 0℃ )退火可以消除复合薄膜中残存的In和In2 O3 并得到了纯InP SiO2 纳米复合薄膜 .
关键词
纳米晶粒
微观结构
光学性质
纳米复合膜
磷化铟
Keywords
InP
nanocrystals
microstructure
optical property
分类号
O484 [理学—固体物理]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
InP/SiO_2纳米复合膜的微观结构和光学性质
丁瑞钦
王浩
W.F.LAU
W.Y.CHEUNG
S.P.WONG
王宁娟
于英敏
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001
3
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已选择
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